電子工業(yè)乃是我國經濟現代化當中不可或缺的重要支撐力，而以集成電路為其代表的半導體芯片制造業(yè)而言，其是電子工業(yè)發(fā)展的基礎與核心。芯片性能好壞與工藝技術及設計的嚴格性、合理性及先進性息息相關，而芯片可靠性及成品率，則與加工制造環(huán)境的潔凈度及制作材料的純度相關，尤其是伴隨當今納米加工技術的不斷發(fā)展與廣泛應用，超凈環(huán)境及超純材料已然成為半導體工業(yè)進步與創(chuàng)新的關鍵。

潔凈廠房的標準

《潔凈廠房設計規(guī)范》GB50073-2013中制定：無塵室中空氣懸浮顆粒物濃度是可控的，其建造和運行均應降低室內滯留、產生的塵粒數量，并且凈化區(qū)域溫濕度等相關參數都在可控范圍內。由于工藝不同，需求的凈化等級和建造標準也不同，根據空氣中≥0.5μm/0.1μm的顆粒數對潔凈室分為：十級、百級、千級、萬級、十萬等級別。

一般來說國內現行的標準有：GB/T16292-1996、BS5595、FS209E、ISO14644-1、歐盟GMP等，按照這些要求進行特定顆粒的測量和計算，以對潔凈室和潔凈區(qū)域的清潔度水平進行分級。根據生產工藝、機械設備的實際需求合理選擇最佳的凈化級別建造潔凈室，在達到需求的同時降低建造成本，資源能耗是凈化設計的基本目標。

凈化空調自控系統(tǒng)

半導體廠房凈化空調自控系統(tǒng)是電子廠房建設的重要組成部分，廠房各類生產工藝的正常運行都依賴于一個高品質的潔凈環(huán)境。能迪科技canlead?凈化空調自控系統(tǒng)是一套智能化中央空調自控系統(tǒng)（PLC）、通過對于車間的溫度、濕度、壓力等實行自動控制，使其穩(wěn)定高效運行，從而達到潔凈車間的設計要求。

凈化車間濕度和壓力的控制

凈化車間濕度和壓力主要取決于新風機組，新風機組采用PLC控制，PLC根據室外空氣溫度將整個空氣處理過程分為三個區(qū)域：當室外空氣含濕量是9.72g/kg干空氣時，空調機組冷盤管對空氣進行除濕，再根據冷卻后的溫度調整電動水閥的開度保證出風露點值穩(wěn)定；在室外氣體的含濕量小于9.72g/kg，并且濕球溫度大于9.53℃時，對空氣進行冷卻加濕，通過出風露點溫度值調整制冷盤管電動水閥的開度，由出風含濕量控制加濕器的加濕量；當室外空氣絕對濕度小于9.72g/kg及濕球溫度小于9.53℃時，對空氣加熱并加濕，通過出風露點溫度自動調整加熱盤管電動閥的開度，同時PLC根據出風空氣含濕量值，控制加濕器加濕量。具體控制參數還要根據各個實例、工藝需求再做適當調整，盡可能找到既滿足每個工藝要求又是最節(jié)能的控制點。

新風機組壓差及加濕器控制

根據送風主管壓力信號，通過變頻器調節(jié)風機轉速，保證送風主管靜壓；室內各個區(qū)域需求的壓差值通過調整對應新風支管電動風閥實現。

車間溫度控制

車間溫度主要由干盤管承擔，PLC根據潔凈室內各區(qū)域溫度傳感器的平均值，調節(jié)不同區(qū)域干盤管電動閥的開度，保證房間該區(qū)域溫度的恒定值。自動控制在滿足工藝需求的同時盡可能的適時調整降低能耗。

推進中國半導體材料國產化

在國家鼓勵半導體材料國產化的政策導向下，本土半導體材料廠商不斷提升半導體產品技術水平和研發(fā)能力，能迪科技canlead?凈化空調自控系統(tǒng)將成為半導體行業(yè)飛速發(fā)展的助推劑，逐漸打破了國外半導體廠商的壟斷格局，推進中國半導體材料國產化進程。

審核編輯黃宇