許多微光成像和光譜應(yīng)用依賴于基于高靈敏度硅或InGaAs的科學探測器。 這些應(yīng) 用包括天文光度測量、活體小動物成像、拉曼光譜、化學/生物發(fā)光和軟x射線成像，需要深度冷卻的探測器，將熱產(chǎn)生的暗噪聲降至最低，以允許積分時間從幾分鐘到數(shù)小 時。

盡管多年來，許多冷卻技術(shù)（如熱電、低溫、焦耳-湯姆遜）已被用于科學相機，但熱電冷卻已被證明是最具吸引力的，因為其無需維護且運行可靠。該技術(shù)將傳感器冷卻到-100°C以上，并提供可達到的最低暗噪聲水平。

理想情況下，光子探測器的信噪比（SNR）僅受光子散粒噪聲限制。然而，在實際應(yīng)用中，信噪比會因其他噪聲源而降低，其中最常見的是讀取噪聲和暗噪聲。數(shù)學上，以下形式表示。

光子散粒噪聲（σS ）可歸因于光子到達率的隨機性，等于檢測到的光子數(shù)的平方根。讀出噪聲（σR）由傳感器讀出電子器件的設(shè)計和讀出速度決定。暗噪聲（σD）——暗電荷的平方根，通常被指定為每秒每像素的電子數(shù)（e-/p/s）——由熱激發(fā)在傳感器像素中產(chǎn)生。在典型的硅基CCD中，在正常工作范圍內(nèi)，每冷卻5到7度，暗電荷就會減少一半。對于深冷CCD相機，在-70°C（或更低）的傳感器溫度下，0.001 e-/p/s的典型暗電荷規(guī)格并不少見。

TEC的基本原理

熱電制冷器（TEC）是一種固態(tài)設(shè)備，當應(yīng)用電能時，它將熱量從一端傳遞到另一端。這種效應(yīng)也稱為珀爾帖效應(yīng)；因此，TEC被稱為珀爾帖設(shè)備。雖然個別TEC設(shè)計中使用的實際材料和結(jié)構(gòu)是特殊的，但典型的材料包括碲化鉍、硅鍺和各種鉍銻合金。盡管珀爾帖設(shè)備可以根據(jù)電能的方向進行加熱或冷卻，但它們最常見的用途是冷卻（見圖1）。通常情況下，珀爾帖設(shè)備根據(jù)其可傳遞的熱量進行評級。

Figure 1. Rendering of a Peltier device

雖然使用珀爾帖設(shè)備實現(xiàn)適度冷卻是一個相對簡單的方法，但實現(xiàn)最深的冷卻和最大的可靠性相矛盾的。通常，相機制造商提到使用多級（即三級、四級或五級珀耳帖設(shè)備）只是為了表示不同程度的深度冷卻。整個熱設(shè)計，包括珀爾帖幾何結(jié)構(gòu)、傳感器熱負荷、輸入電壓電流（功率）參數(shù)、熱交換器和真空室設(shè)計，都必須進行優(yōu)化，以確保傳感器的可靠深度冷卻。最新的深度冷卻相機利用先進的計算流體動力學（CFD）分析工具來優(yōu)化熱設(shè)計的各個方面。

使用TEC設(shè)備實現(xiàn)最深的冷卻需要

?傳感器周圍的超高真空（UHV）環(huán)境

?非放氣材料；沒有環(huán)氧樹脂

?永久性全金屬密封件

?高效熱交換器，實現(xiàn)高散熱

?實現(xiàn)高可靠性和溫度穩(wěn)定性的智能控制

超高真空：TEC的額定值是指其熱側(cè)和冷側(cè)之間可達到的最大溫度增量，通常為“零”負載。然而，TEC不僅需要去除自身運行產(chǎn)生的熱量，還需要去除傳感器運行產(chǎn)生的多余熱量。為了將熱負荷降至最低，傳感器需要封裝在真空度高達10-10托的超高真空（UHV）室內(nèi)。雖然許多超高壓室設(shè)計可用于真空室構(gòu)造，但只有真正可靠的超高壓室設(shè)計依靠多年的制造專業(yè)知識和材料專有技術(shù)保證其使用壽命。參見圖2。

Figure 2. All-metal vacuum seals

高性能真空設(shè)計必須具備以下屬性：

?全金屬密封真空室

?永久性密封，無需維護

?不使用環(huán)氧樹脂密封窗戶和真空室：環(huán)氧樹脂會排氣并降解，隨著時間的推移，固有地損害真空。

?10-10托范圍內(nèi)的超高真空水平，以將熱損失降至最低

?先進的“吸氣劑”材料，可在多年運行中保持真空水平

?可靠、經(jīng)驗證的制造工藝

高效熱交換器：珀爾帖設(shè)備提供了一種將熱量從冷側(cè)（傳感器）傳遞到熱側(cè)（環(huán)境）的簡單方法，但效率非常低。它們傳遞的熱量越多，效率就越低。換句話說，有一個最佳范圍，在該范圍內(nèi)TEC的運行效率最高。

因此，重要的是相機要有熱交換器，通常稱為散熱器，以盡可能有效地去除熱側(cè)的熱量。ArcTec technology采用了一種組合式空氣/液體熱交換器，可最大化表面積而且散熱效率很高。通過使用超大風扇、室溫液體循環(huán)器、冷卻器或它們的組合，將傳遞到散熱器的熱量耗散（到周圍環(huán)境中）。

智能控制： 最新的熱設(shè)計還包括智能反饋控制，通過控制珀爾帖設(shè)備的電參數(shù)，將傳感器溫度保持在設(shè)定點的±0.01°C范圍內(nèi)。 此外，這種先進的設(shè)計要么控制風扇的速度（以盡量減少振動），要么允許風扇完全關(guān)閉，利用液體循環(huán)。

普林斯頓儀器TEC相機

2016年推出的普林斯頓儀器公司SOPHIA攝像頭采用了ArcTec先進的熱電冷卻技術(shù)。 ArcTec是InGaAs焦平面陣列（FPA）相機NIRvana系列的先驅(qū)，基于普林斯頓儀器公司經(jīng)驗證的全金屬密封真空設(shè)計，ArcTec使用最新的計算流體力學（CFD）分析工具，為當今市場上任何基于TEC的相機提供最高水平的冷卻和可靠性。

審核編輯黃宇