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構(gòu)筑國產(chǎn)化合物半導(dǎo)體功率器件測試驗證的能力基石

泰克科技

泰克科技（中國）有限公司和矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司戰(zhàn)略合作發(fā)布會在深圳創(chuàng)投大廈矽電總部召開，同一時間，泰克（中國）和矽電半導(dǎo)體宣布測試測量聯(lián)合實驗室正式成立。

毫無疑問，由于雙碳目標(biāo)及綠色生態(tài)的政策傾向，ESG浪潮來襲，以SiC（碳化硅）和GaN（氮化鎵）為代表的第三代半導(dǎo)體已經(jīng)成為高性能器件廠商的優(yōu)先選擇，功率器件也成為中國半導(dǎo)體市場的新亮點(diǎn)。市場調(diào)研機(jī)構(gòu)Yole最新研究報告指出，全球功率半導(dǎo)體器件市場將從2020年的175億美元增長至2026年的262億美元，而其中約70%來自汽車市場。

隨之而來的是第三代半導(dǎo)體芯片和功率器件研發(fā)、生產(chǎn)中的測試測量難點(diǎn)和挑戰(zhàn)，如高壓放電、大電流測試、高溫性能測試、超薄翹曲晶圓轉(zhuǎn)運(yùn)等難題。

強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)手

矽電半導(dǎo)體作為國內(nèi)半導(dǎo)體產(chǎn)線批量點(diǎn)測設(shè)備的頭部生產(chǎn)廠家，經(jīng)過20年的技術(shù)累積，掌握了探針測試多項核心關(guān)鍵技術(shù)，其產(chǎn)品涵蓋集成電路、光電芯片、分立器件、第三代半導(dǎo)體等領(lǐng)域。

泰克（中國）作為國際領(lǐng)先的測試測量解決方案供應(yīng)商，可以提供全流程半導(dǎo)體參數(shù)測試方案。泰克（中國）和矽電半導(dǎo)體的強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)手，有助于高效解決業(yè)內(nèi)這些測試難點(diǎn)，在晶圓級測試節(jié)點(diǎn)提供WAT、CP、WLR、KGD等測試，在模塊級測試節(jié)點(diǎn)提供動靜態(tài)參數(shù)測試、封測和可靠性測試，覆蓋了整個化合物半導(dǎo)體功率器件全制程。

泰克（中國）和矽電半導(dǎo)體自2015年開展合作以來，在LED Wafer點(diǎn)測市場，取得了突破和進(jìn)展。本次泰克和矽電戰(zhàn)略合作意向書的簽署，將“進(jìn)一步發(fā)展和深化在Wafer Acceptance Test（簡稱WAT）市場的戰(zhàn)略合作，以期進(jìn)一步開拓中國市場，為客戶在WAT測試領(lǐng)域提供整體性解決方案，并為客戶降低成本以提高競爭力”。

矽電-泰克晶圓級探針測試測量聯(lián)合實驗室

與此同時，矽電-泰克晶圓級探針測試測量聯(lián)合實驗室也宣布正式成立。此聯(lián)合實驗室旨在強(qiáng)化國產(chǎn)化合物半導(dǎo)體功率器件測試驗證的能力，進(jìn)一步探究和優(yōu)化基于高精度和高吞吐率下的一過性解決方案。

實驗室提供了可用于12寸、8寸晶圓的全自動探針臺，具備

?支持最高3000V/100A的高壓及大電流測試

?探針系統(tǒng)測試漏電流<100pA@1000V

?WLR支持實現(xiàn)TDDB, NBTI, PBTI, HCI 等測試功能

?支持高溫測試，溫度可達(dá)200°C

?特殊絕緣設(shè)計避免擊穿和打火，靜態(tài)測試最高電壓3000V，動態(tài)測試最高電壓2000V

?搬運(yùn)/探針部分與測試部分分離，可擴(kuò)展性強(qiáng)

?支持鐵環(huán)，藍(lán)膜，華夫盒，Tap Reel等進(jìn)出料方式

?支持多臺站并行測試

實驗室現(xiàn)已開放預(yù)約實測，

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關(guān)于矽電

矽電半導(dǎo)體設(shè)備（深圳）股份有限公司（簡稱“矽電”），成立于2003年12月25日，主要從事半導(dǎo)體專用設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售，專注于半導(dǎo)體探針臺測試技術(shù)領(lǐng)域，系中國境內(nèi)領(lǐng)先的探針測試技術(shù)系列設(shè)備制造企業(yè)。矽電半導(dǎo)體自主研發(fā)了多種類型應(yīng)用探針測試技術(shù)的半導(dǎo)體設(shè)備，產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于集成電路、光電芯片、分立器件、第三代化合物半導(dǎo)體等半導(dǎo)體產(chǎn)品制造領(lǐng)域，已成為中國大陸規(guī)模最大的探針臺設(shè)備制造企業(yè)。

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