MEMS熱式流量傳感器是基于流體傳熱學(xué)原理的一類傳感器，利用 MEMS 熱式原理對管路氣體介質(zhì)進行流量監(jiān)測。

流量芯片由兩個熱偶堆和一個加熱電阻組成，熱偶堆對稱的分布在加熱電阻的上、下游，加熱電阻和熱偶堆的熱結(jié)處于一個隔熱底座上。

當流體靜止時，加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度是相同的，當流體從右向左流動時等溫線向左側(cè)傾斜，加熱電阻兩側(cè)對稱位置的溫度不再相同，溫差可由置于加熱電阻兩側(cè)的熱偶堆測定。由于流體的傳熱只與流體質(zhì)量和流體的熱容有關(guān)，因此傳感器可以直接測出流體質(zhì)量流量。

煒盛科技的流量傳感器包含F(xiàn)1012、F1013、F1022、F1031/F1031V等型號，采用新一代MEMS傳感器芯片技術(shù)，具有很好的精度與重復(fù)性。新推出的流量傳感器是針對原有產(chǎn)品的升級開發(fā)，采用低壓損設(shè)計，廣泛用于各類氣體流量測量。

產(chǎn)品特點

?高靈敏度、高精度、低壓損；

?極低始動流量；

?高測量重復(fù)性；

?模塊化設(shè)計；

?可用于各類產(chǎn)品定制

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FR03流量傳感器

FR03 型流量傳感器是針對原 F1013 產(chǎn)品升級開發(fā)。

FR03H流量傳感器

FR03H 型流量傳感器是針對原 F1012 產(chǎn)品升級開發(fā)。

FR03H 技術(shù)指標

FR06流量傳感器

FR06 型流量傳感器是針對原 F1022 產(chǎn)品升級開發(fā)。

FR06 技術(shù)指標

FR20流量傳感器

FR20 型流量傳感器是針對原 F1031V 產(chǎn)品升級開發(fā)。

FR20 技術(shù)指標

流量傳感器應(yīng)用領(lǐng)域流量傳感器能夠用來測量無腐蝕，非強酸和強堿的氣體，可用于空氣采樣器、分析儀、呼吸機、麻醉劑、制氧機、檢漏儀、環(huán)境監(jiān)測設(shè)備、 粒子計數(shù)器、打火機自動調(diào)火設(shè)備、氣相色譜儀等多種領(lǐng)域。