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10.4.4 定向自組裝光刻技術(shù)(DSA)∈《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》

深圳市致知行科技有限公司 ? 2022-04-18 11:18 ? 次閱讀
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Directed Self-assembly Lithography(DSA)

審稿人:北京大學(xué) 蔡一茂 楊遠(yuǎn)程

https://www.pku.edu.cn

審稿人:北京大學(xué) 張興

10.3 集成電路新材料

第10章 集成電路基礎(chǔ)研究與前沿技術(shù)發(fā)展

《集成電路產(chǎn)業(yè)全書》下冊

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