PART ONE背景介紹

壓力傳感器被視為最常用的傳感器類型之一，因為它們負責測量施加在氣體或液體上的任何力，并將其轉化為電信號。它們可以在醫(yī)療設備和醫(yī)療行業(yè)、自動化、液壓以及航空航天等領域中有各種應用。目前在現(xiàn)場安裝的大部分壓力傳感器都基于MEMS技術，采用壓阻或電容測量原理。在本文中，我們將討論它們的主要區(qū)別，并突出各自的優(yōu)勢。

PART TWO壓阻技術測量原理

Piezoresistive”一詞由希臘詞匯“piezo”（意為擠壓或壓迫）和“resist”組成。在壓阻傳感器中，將四個電阻器放置在硅隔膜上，以測量施加在其上的應變或物理壓力的結果。通過惠斯通電橋電路，將電阻的任何可察覺變化轉化為輸出電壓。

壓阻壓力測量原理是MEMS技術中最早開發(fā)的之一，并且在電容測量原理之前多年被開發(fā)。因此，它是最常用的。由于其廣泛和低成本的生產(chǎn)，壓阻壓力傳感器廣泛用于消費電子和汽車工業(yè)，以及家電領域。

PART THREE電容技術測量原理

為確保電容式壓力傳感器有效運行，需要兩個平行且電氣隔離的導電板。底板固定，而頂板對壓力變化敏感。當施加壓力時，頂板（或膜片）彎曲，產(chǎn)生電容。然后，將電容的這種變化轉換為電子信號，可以由ASIC或微控制器讀取和處理。

PART FOURMEMS電容技術的典型應用場景

MEMS電容技術最適用于對精度、可靠性和安全性要求極高的應用。這是由于MEMS元件的特性帶來的技術優(yōu)勢，這些特性類似于標準被動元件（電阻器、電容器），以及設計和制造方法的差異。

還想知道MEMS電容式與壓阻式壓力傳感器在技術上的區(qū)別？點個關注，下期講解~

審核編輯 黃宇