PART ONE背景介紹

壓力傳感器被視為最常用的傳感器類型之一，因?yàn)樗鼈冐?fù)責(zé)測(cè)量施加在氣體或液體上的任何力，并將其轉(zhuǎn)化為電信號(hào)。它們可以在醫(yī)療設(shè)備和醫(yī)療行業(yè)、自動(dòng)化、液壓以及航空航天等領(lǐng)域中有各種應(yīng)用。目前在現(xiàn)場(chǎng)安裝的大部分壓力傳感器都基于MEMS技術(shù)，采用壓阻或電容測(cè)量原理。在本文中，我們將討論它們的主要區(qū)別，并突出各自的優(yōu)勢(shì)。

PART TWO壓阻技術(shù)測(cè)量原理

Piezoresistive”一詞由希臘詞匯“piezo”（意為擠壓或壓迫）和“resist”組成。在壓阻傳感器中，將四個(gè)電阻器放置在硅隔膜上，以測(cè)量施加在其上的應(yīng)變或物理壓力的結(jié)果。通過(guò)惠斯通電橋電路，將電阻的任何可察覺(jué)變化轉(zhuǎn)化為輸出電壓。

壓阻壓力測(cè)量原理是MEMS技術(shù)中最早開(kāi)發(fā)的之一，并且在電容測(cè)量原理之前多年被開(kāi)發(fā)。因此，它是最常用的。由于其廣泛和低成本的生產(chǎn)，壓阻壓力傳感器廣泛用于消費(fèi)電子和汽車(chē)工業(yè)，以及家電領(lǐng)域。

PART THREE電容技術(shù)測(cè)量原理

為確保電容式壓力傳感器有效運(yùn)行，需要兩個(gè)平行且電氣隔離的導(dǎo)電板。底板固定，而頂板對(duì)壓力變化敏感。當(dāng)施加壓力時(shí)，頂板（或膜片）彎曲，產(chǎn)生電容。然后，將電容的這種變化轉(zhuǎn)換為電子信號(hào)，可以由ASIC或微控制器讀取和處理。

PART FOURMEMS電容技術(shù)的典型應(yīng)用場(chǎng)景

MEMS電容技術(shù)最適用于對(duì)精度、可靠性和安全性要求極高的應(yīng)用。這是由于MEMS元件的特性帶來(lái)的技術(shù)優(yōu)勢(shì)，這些特性類似于標(biāo)準(zhǔn)被動(dòng)元件（電阻器、電容器），以及設(shè)計(jì)和制造方法的差異。

還想知道MEMS電容式與壓阻式壓力傳感器在技術(shù)上的區(qū)別？點(diǎn)個(gè)關(guān)注，下期講解~

審核編輯 黃宇