SJ6000激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性測(cè)長(zhǎng)、角度、直線(xiàn)度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在SJ6000激光干涉儀動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線(xiàn)性位移、角度和直線(xiàn)度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測(cè)量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線(xiàn)性鏡組、角度鏡組、直線(xiàn)度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)。

1、激光干涉儀sj6000在測(cè)量直線(xiàn)度方面的應(yīng)用

直線(xiàn)度干涉鏡在移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生橫向或縱向位移時(shí)，兩束反射光會(huì)有相對(duì)應(yīng)的光程差產(chǎn)生，SJ6000采集到該光程差的干涉信號(hào)，經(jīng)過(guò)運(yùn)算處理，即可得出對(duì)應(yīng)的直線(xiàn)度值。利用激光干涉儀進(jìn)行高精度測(cè)量可以提高產(chǎn)品的幾何精度和機(jī)械性能。

直線(xiàn)度測(cè)量配置
直線(xiàn)度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線(xiàn)度鏡組（或長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成，可滿(mǎn)足±3mm范圍內(nèi)的直線(xiàn)度測(cè)量。

直線(xiàn)度測(cè)量應(yīng)用

2、激光干涉儀sj6000在測(cè)量垂直度方面的應(yīng)用

垂直度的測(cè)量是直線(xiàn)度測(cè)量在二維方向上的延伸。垂直度測(cè)量由正交軸的兩組直線(xiàn)度測(cè)量組成，詳見(jiàn)下面垂直度測(cè)量光路原理構(gòu)件圖，其中直線(xiàn)度反射鏡作為共同的參考基準(zhǔn)，在測(cè)量過(guò)程中保持原位，且不進(jìn)行調(diào)整；光學(xué)角尺用于至少在其中一次直線(xiàn)度測(cè)量中，允許調(diào)整激光束與軸的準(zhǔn)直。垂直度誤差＝光學(xué)直角尺誤差－斜度θ1－斜度θ2。

使用激光干涉儀可以準(zhǔn)確測(cè)量?jī)蓚€(gè)面或兩個(gè)軸的垂直度，從而保證被測(cè)物體在安裝過(guò)程中，各個(gè)部件的相對(duì)位置關(guān)系的精度。在飛行器、船舶，以及各種大型工程中，垂直度的測(cè)量精度直接關(guān)系到設(shè)備的穩(wěn)定性和運(yùn)行效率。

垂直度測(cè)量配置
垂直度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、短直線(xiàn)度鏡組（或長(zhǎng)直線(xiàn)度鏡組）、垂直度鏡組（含光學(xué)直角尺）、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。

垂直度測(cè)量應(yīng)用

注：Z軸的垂直度測(cè)量需增添直線(xiàn)度附件。

3、激光干涉儀數(shù)據(jù)sj6000在測(cè)量平面度方面的應(yīng)用

平面度指的是被測(cè)物體的表面是否滿(mǎn)足平面或者平行于參考面的性質(zhì)。平面度的測(cè)量是在角度測(cè)量的基礎(chǔ)上進(jìn)行的延伸。平面度測(cè)量一般采用“對(duì)角法”在平面上進(jìn)行相應(yīng)次數(shù)的角度測(cè)量，通過(guò)軟件算法可將角度的變化轉(zhuǎn)換為平面上高度的變化，進(jìn)而得到整個(gè)平面的平面度。

激光干涉儀sj6000可以對(duì)被測(cè)物體的表面進(jìn)行高精度的測(cè)量，檢測(cè)平面度誤差。在航空航天、化工、機(jī)械制造等領(lǐng)域中，平面度的測(cè)量精度是非常重要的。

平面度測(cè)量配置
平面度測(cè)量配置主要由SJ6000主機(jī)、角度鏡組、平面度鏡組、SJ6000靜態(tài)測(cè)量軟件等組件構(gòu)成。其中，平面度鏡組由180mm可調(diào)基板、360mm可調(diào)基板和平面度旋轉(zhuǎn)鏡構(gòu)成。

平面度測(cè)量應(yīng)用