真空泵是在許多工業(yè)領(lǐng)域中廣泛使用的重要設(shè)備。它們通常用于從封閉容器中移除氣體或液體以維持真空狀態(tài)，這樣可以保證制造加工過程的干凈和穩(wěn)定，被廣泛應(yīng)用于電子、半導體、化學和制藥等多個領(lǐng)域。

如在半導體工廠中，許多步驟都需要在真空環(huán)境下進行，例如沉積、刻蝕、清洗等，而真空泵是創(chuàng)造和維持這種真空環(huán)境的重要設(shè)備，因此保證真空泵良好穩(wěn)定的運行，便能確保產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

通常情況下，真空泵的狀態(tài)監(jiān)測是基于設(shè)備運行過程產(chǎn)生的信號信息，如振動數(shù)據(jù)、壓力數(shù)據(jù)、溫度數(shù)據(jù)等。這些數(shù)據(jù)切實反映了真空泵的工作狀態(tài)，若是超出安全閾值便有可能是設(shè)備故障。因此，通過監(jiān)測這些數(shù)據(jù)，我們可以了解真空泵的狀態(tài)，并及時預測可能的故障原因，從而實現(xiàn)對真空泵的預測性維護。

1、數(shù)據(jù)接入：通過真空泵PLC和傳感器的數(shù)據(jù)接入到數(shù)之能設(shè)備運維管理平臺中，可以實現(xiàn)溫度、壓力、振動、真空度等數(shù)據(jù)的可視化處理。

2、故障報警：通過設(shè)置報警閾值與通知方式，在獲取到設(shè)備故障數(shù)據(jù)時就會自動報警，在平臺中生成故障記錄，并通過微信、短信、郵件、APP等進行通知。

3、數(shù)據(jù)分析：通過自定義數(shù)據(jù)報表實現(xiàn)數(shù)據(jù)智能分析，如多個設(shè)備同一參數(shù)、多個時間同一參數(shù)等，從而合理優(yōu)化設(shè)備產(chǎn)能、性能、能耗、工藝等。

4、運維管理：故障報警快速生成運維工單，工程師快速接單，記錄維護日志，方便隨時跟蹤處理進度；此外，平臺也提供遠程維護調(diào)試和遠程上下載程序等操作。

5、預測性維護：根據(jù)設(shè)備故障頻率、報警數(shù)據(jù)、運維記錄等有效評估設(shè)備運行性能與故障風險，從而建立起預測性維護與備品備件管理的智能系統(tǒng)。