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2023年12月1日， 2023上海國(guó)際微技術(shù)研究與創(chuàng)新論壇（2023 SITRI DAY），暨上海工研院十周年慶、第四屆菊?qǐng)@科技創(chuàng)新論壇、MEMS WORLD SUMMIT活動(dòng)在科創(chuàng)之城——上海嘉定順利舉辦。

本次SITRI DAY活動(dòng)由上海市科學(xué)技術(shù)委員會(huì)、上海市經(jīng)濟(jì)和信息化委員會(huì)、上海市國(guó)有資產(chǎn)監(jiān)督管理委員以及上海市嘉定區(qū)人民政府聯(lián)合指導(dǎo)，由上海微技術(shù)工業(yè)研究院、嘉定區(qū)菊?qǐng)@新區(qū)管委會(huì)、MEMS WORLD SUMMIT主辦，上海新微科技集團(tuán)有限公司、上海菊?qǐng)@經(jīng)濟(jì)發(fā)展中心聯(lián)合主辦，上海嘉定區(qū)菊?qǐng)@科技企業(yè)服務(wù)中心、中國(guó)傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟、上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)、上海集成電路材料研究院協(xié)辦。本次活動(dòng)以“面向世界科技前沿、面向經(jīng)濟(jì)主戰(zhàn)場(chǎng)、面向國(guó)家重大需求、面向人民生命健康”為核心宗旨，通過(guò)建設(shè)打造一個(gè)高水平的技術(shù)交流平臺(tái)，促進(jìn)科技創(chuàng)新資源的協(xié)同配置，并進(jìn)一步強(qiáng)化上海工研院作為公共服務(wù)平臺(tái)的科技創(chuàng)新策源功能，加快推進(jìn)產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新應(yīng)用和成果轉(zhuǎn)化，從而引領(lǐng)“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)向中高端邁進(jìn)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)的高質(zhì)量發(fā)展。

本次論壇采取線上線下相結(jié)合，除主題演講外，還設(shè)有MEMS技術(shù)、硅光技術(shù)、生命信息技術(shù)和投資孵化路演四個(gè)分論壇活動(dòng)。會(huì)議邀請(qǐng)了中國(guó)科學(xué)院院士祝世寧教授、中國(guó)科學(xué)院院士褚君浩教授、中國(guó)工程院院士吳漢明教授、歐洲科學(xué)院及比利時(shí)皇家學(xué)院雙料院士Johan Hofkens教授、加拿大皇家科學(xué)院及工程院兩院院士Andreas Mandelis教授、法國(guó)國(guó)家醫(yī)學(xué)科學(xué)院外籍通訊院士及上海交通大學(xué)醫(yī)學(xué)院沈柏用教授、教育部長(zhǎng)江學(xué)者及上海交通大學(xué)物理與天文學(xué)院金賢敏教授、德國(guó)弗勞恩霍夫光電微系統(tǒng)研究所（Fraunhofer IPMS）副所長(zhǎng)J?rg Amelung先生、國(guó)際傳感器行業(yè)協(xié)會(huì)（全球董事）及萬(wàn)物云首席科學(xué)家丁險(xiǎn)峰先生以及來(lái)自博世、TDK、廣東增芯、賽微電子、豫信電科、聯(lián)合微電子、矽?？萍嫉纫槐娦袠I(yè)重點(diǎn)企業(yè)的高管、地區(qū)負(fù)責(zé)人及技術(shù)專(zhuān)家和來(lái)自長(zhǎng)三角國(guó)創(chuàng)中心、粵港澳大灣區(qū)國(guó)創(chuàng)中心、國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心、國(guó)家信息光電子創(chuàng)新中心、中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院等機(jī)構(gòu)的負(fù)責(zé)人、高管、技術(shù)專(zhuān)家以及中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)副理事長(zhǎng)及上海市集成電路行業(yè)協(xié)會(huì)秘書(shū)長(zhǎng)郭奕武先生、SEMI中國(guó)高級(jí)總監(jiān)張文達(dá)先生、全國(guó)微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)李根梓秘書(shū)長(zhǎng)等眾多產(chǎn)業(yè)界企業(yè)、平臺(tái)、機(jī)構(gòu)的負(fù)責(zé)人和技術(shù)專(zhuān)家以及來(lái)自上海市科委、廣東省工信廳、嘉定區(qū)經(jīng)委、嘉定區(qū)科委、嘉定區(qū)國(guó)資委以及嘉定菊?qǐng)@新區(qū)的領(lǐng)導(dǎo)共計(jì)700余人，與其他26000余名線上產(chǎn)業(yè)界人士共同謀劃“超越摩爾”集成電路產(chǎn)業(yè)的升級(jí)與深化發(fā)展的長(zhǎng)久之道。

上海市科委副主任王曄先生、中國(guó)科學(xué)院院士祝世寧教授及菊?qǐng)@新區(qū)黨工委書(shū)記陳懿先生為本次活動(dòng)致辭。

上海市科委副主任王曄先生致辭

王曄副主任介紹了上海工研院作為上海市首家研發(fā)與轉(zhuǎn)化功能型平臺(tái)的建設(shè)背景，以及首批15家平臺(tái)的落地對(duì)上海市科創(chuàng)中心建設(shè)所起到的基石作用，并寄語(yǔ)上海工研院未來(lái)繼續(xù)瞄準(zhǔn)世界科技前沿技術(shù)，引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)科技發(fā)展方向，肩負(fù)起歷史賦予平臺(tái)的重任，勇做新時(shí)代科技創(chuàng)新的排頭兵。

中國(guó)科學(xué)院院士祝世寧教授致辭

祝世寧院士作為產(chǎn)業(yè)專(zhuān)家，回顧了他與上海工研院在硅光平臺(tái)建設(shè)過(guò)程中的淵源及雙方共同創(chuàng)立光電子集成芯片立強(qiáng)論壇的種種情景，期待在未來(lái)的發(fā)展中可以與平臺(tái)在光電子領(lǐng)域有更多的合作與交流，雙方共同推動(dòng)中國(guó)光電子技術(shù)的發(fā)展，為產(chǎn)業(yè)的提升作出更大的貢獻(xiàn)。

嘉定區(qū)菊?qǐng)@新區(qū)黨工委書(shū)記陳懿先生致辭

嘉定區(qū)菊?qǐng)@新區(qū)黨工委書(shū)記陳懿先生代表地方對(duì)本次活動(dòng)的順利舉辦表示了祝賀，并代表菊?qǐng)@科技創(chuàng)新論壇的主辦單位對(duì)與會(huì)嘉賓的到來(lái)表示了歡迎，同時(shí)對(duì)于上海工研院落地菊?qǐng)@十載為當(dāng)?shù)亍俺侥枴奔呻娐樊a(chǎn)業(yè)發(fā)展所帶來(lái)的積極作用表示了感謝，并強(qiáng)調(diào)在未來(lái)的日子里菊?qǐng)@新區(qū)要進(jìn)一步加強(qiáng)對(duì)產(chǎn)業(yè)、平臺(tái)的服務(wù)，推動(dòng)創(chuàng)新鏈產(chǎn)業(yè)鏈資金鏈人才鏈深度融合，全面推動(dòng)地區(qū)產(chǎn)業(yè)發(fā)展。

上海工研院董事長(zhǎng)謝曉明研究員致歡迎辭

在各位嘉賓致辭完畢后，由中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)所所長(zhǎng)、上海工研院董事長(zhǎng)謝曉明研究員代表本次論壇的主辦方向各位與會(huì)領(lǐng)導(dǎo)、專(zhuān)家以及產(chǎn)業(yè)界人士致歡迎辭。謝董事長(zhǎng)首先感謝前來(lái)參加本次活動(dòng)的參會(huì)嘉賓，隨后回顧了上海工研院響應(yīng)上海市集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展需求，探索信息領(lǐng)域創(chuàng)新機(jī)制、奠定上海研發(fā)與轉(zhuǎn)化功能型平臺(tái)運(yùn)行模式的十年發(fā)展歷程。他還表示未來(lái)上海工研院將繼續(xù)探索“超越摩爾”技術(shù)研發(fā)與轉(zhuǎn)化以及產(chǎn)業(yè)生態(tài)建設(shè)路徑，充分發(fā)揮銜接科研和產(chǎn)業(yè)以及產(chǎn)業(yè)技術(shù)策源地功能，為相關(guān)企業(yè)提供高水平的技術(shù)供給和高質(zhì)量的技術(shù)服務(wù)。

隨后大會(huì)啟動(dòng)了成果發(fā)布儀式，由上海工研院發(fā)布了“MEMS標(biāo)準(zhǔn)工藝模塊”以及“90nm硅光集成工藝”兩項(xiàng)“超越摩爾”技術(shù)成果。兩項(xiàng)成果均來(lái)自于上海工研院承擔(dān)的國(guó)家及市級(jí)重大專(zhuān)項(xiàng)所取得的階段性成果，可為中小企業(yè)提供MEMS制造和硅光子器件的標(biāo)準(zhǔn)化工藝，大幅提高產(chǎn)品設(shè)計(jì)效率，其中硅光集成工藝器件庫(kù)更是達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。

“超越摩爾”成果發(fā)布儀式

成果發(fā)布儀式后，上海工研院與摩侖科技、上海汽車(chē)芯片工程中心、聯(lián)影微電子、國(guó)家信息光電子中心、浙江大學(xué)微納電子學(xué)院、上海精測(cè)、增芯科技、利揚(yáng)芯片、煒盛科技及大立科技等“超越摩爾”集成電路生態(tài)圈戰(zhàn)略合作伙伴代表簽訂戰(zhàn)略合作協(xié)議，旨在打通長(zhǎng)三角與粵港澳大灣區(qū)以及中部地區(qū)產(chǎn)業(yè)區(qū)域限制，實(shí)現(xiàn)從設(shè)備、芯片生產(chǎn)、設(shè)計(jì)到封裝測(cè)試的全產(chǎn)業(yè)鏈布局，助力上海“超越摩爾”集成電路產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展。

“超越摩爾”集成電路生態(tài)圈戰(zhàn)略合作伙伴代表簽約儀式

活動(dòng)過(guò)后，上海工研院總經(jīng)理董業(yè)民博士作了《建設(shè)具有全球影響力的“超越摩爾”功能型創(chuàng)新平臺(tái)》的主題報(bào)告。報(bào)告回顧了上海工研院十年以來(lái)發(fā)展的芯路歷程以及取得的一些成績(jī)，在未來(lái)的發(fā)展過(guò)程中，上海工研院將繼續(xù)圍繞上海集成電路一體兩翼戰(zhàn)略，聚焦“超越摩爾”芯片制造核心技術(shù)及產(chǎn)業(yè)孵化，打造一個(gè)具有全球影響力的“超越摩爾”集成電路產(chǎn)業(yè)生態(tài)。

上海工研院董業(yè)民博士發(fā)言

歐洲科學(xué)院/比利時(shí)皇家科學(xué)與藝術(shù)學(xué)院雙料院士及比利時(shí)魯汶大學(xué)化學(xué)系終身教授Johan Hofkens教授分享了《The Power of One: From Single Molecule Investigations to Materials Research and Beyond》的主題報(bào)告，報(bào)告探討了單分子光譜學(xué)對(duì)應(yīng)用該技術(shù)的各個(gè)領(lǐng)域都產(chǎn)生的巨大影響，從催化、等離子體學(xué)、聚合物物理學(xué)、生物物理學(xué)到細(xì)胞生物學(xué)和 DNA 測(cè)序。此外，報(bào)告中還分享了單分子技術(shù)和新顯微鏡模式的開(kāi)發(fā)如何推動(dòng)材料科學(xué)和生物科學(xué)的發(fā)展。

比利時(shí)魯汶大學(xué)Johan Hofkens教授發(fā)言

來(lái)自中國(guó)電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展研究院集成電路所所長(zhǎng)周峰先生隨后分享了《智能傳感器及硅光技術(shù)行業(yè)趨勢(shì)》的主題報(bào)告，報(bào)告詳細(xì)闡述了國(guó)內(nèi)外智能傳感器的分類(lèi)、技術(shù)路線以及行業(yè)發(fā)展趨勢(shì)，其中重點(diǎn)介紹了硅光技術(shù)在智能傳感器領(lǐng)域的應(yīng)用和未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)。

來(lái)自TDK-InvenSense副總裁張宏達(dá)博士帶來(lái)了《Enriching Lives with Sensing Solutions——運(yùn)用傳感解決方案豐富生活》的主題演講，報(bào)告介紹了TDK MEMS傳感器的工作原理和產(chǎn)品特點(diǎn)，特別介紹了TDK-InvenSense 專(zhuān)有的 CMOS-MEMS 片上系統(tǒng)平臺(tái)在傳感器制造中的優(yōu)勢(shì)。

來(lái)自德國(guó)弗勞恩霍夫光電微系統(tǒng)研究所（Fraunhofer IPMS）的J?rg Amelung先生以及Sandro Koch博士分享了《From Concept to Production: Unleashing the Potential of MEMS-based Ultrasound》的主題報(bào)告。報(bào)告介紹了MEMS器件的進(jìn)步和特定技術(shù)發(fā)展的關(guān)系，以及弗勞恩霍夫光電微系統(tǒng)研究所開(kāi)發(fā)的基于MEMS的微機(jī)械超聲換能器（MUT）所獨(dú)有的特性技術(shù)等創(chuàng)新應(yīng)用案例。

主論壇最后舉行了第五屆菊?qǐng)@科技創(chuàng)新論壇輪值主席交接儀式。第四屆論壇主辦單位中國(guó)科學(xué)院上海微系統(tǒng)所代表俞文杰副所長(zhǎng)與下一屆主辦單位中國(guó)工程物理研究院上海激光等離子體研究所代表黨委副書(shū)記高妍琦先生完成了論壇輪值主席的交接儀式，順利完成了主論壇活動(dòng)。

菊?qǐng)@科技創(chuàng)新論壇輪值主席交接儀式

各分論壇環(huán)節(jié)

下午MEMS技術(shù)、硅光技術(shù)、生命信息技術(shù)分論壇和投資孵化路演活動(dòng)同時(shí)開(kāi)展，各論壇集聚了包括吳漢明院士、褚君浩院士、祝世寧院士、沈柏用院士、Andreas Mandelis院士、Robert Pan博士，李昕欣研究員（國(guó)家杰青）、金賢敏教授（長(zhǎng)江學(xué)者）以及來(lái)自華為、華進(jìn)半導(dǎo)體、華大科技、安靠封裝、大立科技、博世、聯(lián)影微電子、藥明生物、國(guó)家信息光電子中心和上海工研院的二十余位專(zhuān)家為大家?guī)?lái)了主題報(bào)告、圓桌論壇等技術(shù)分享活動(dòng)。投資孵化路演活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)集聚了十五家創(chuàng)新科技企業(yè)的創(chuàng)新項(xiàng)目和近百位投資人，為創(chuàng)新企業(yè)的發(fā)展帶來(lái)了機(jī)遇。

本次上海國(guó)際微技術(shù)研究與創(chuàng)新論壇活動(dòng)依托上海工研院平臺(tái)優(yōu)勢(shì)，進(jìn)一步暢通了“超越摩爾”產(chǎn)業(yè)鏈上下游企業(yè)的溝通渠道，協(xié)同推動(dòng)產(chǎn)業(yè)技術(shù)的創(chuàng)新應(yīng)用和成果轉(zhuǎn)化，為中小企業(yè)的孵化、培育和發(fā)展提供了更好的創(chuàng)新服務(wù)。同時(shí)擴(kuò)大了上海打造集成電路“一體兩翼”空間布局影響力，將吸引更多全產(chǎn)業(yè)鏈企業(yè)落戶上海，加快構(gòu)筑上海集成電路產(chǎn)業(yè)新高地。

審核編輯 黃宇