三星智能傳感器系統(tǒng)降低對外國傳感器依賴，自主控制半導體工藝
據(jù)韓媒ETNews 12月26日報道，三星電子研發(fā)新型“智能傳感器系統(tǒng)”，旨在精準控制半導體工藝。此舉將在提升芯片制作良品率與產能效益方面發(fā)揮重要作用。
據(jù)悉，維持半導體生產過程中等離子體均勻性和密度的精細控制對于增強良率至關重要。三星新版智能傳感器可深入挖掘每個環(huán)節(jié)如蝕刻、沉積及清洗的工藝效果，確保整個流程高度科學、高效。
當前，市面上大多數(shù)晶圓智能傳感器源自海外市場，例如美國等地。為有效應對日漸增長的產量需求，三星決定采取自主研發(fā)策略，降低對進口傳感器的依靠度。
據(jù)悉，三星電子正在研發(fā)的智能傳感器體積小巧，對現(xiàn)有設備占用空間無顯著影響，從而實現(xiàn)產能的有效提升。
此外，三星電子計劃拓寬該技術的開發(fā)與應用領域，不僅局限于等離子體，還將著手研發(fā)適用于各類半導體工藝的SMART傳感器與系統(tǒng)。
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