近日，MEMS器件可靠性試驗(yàn)創(chuàng)新聯(lián)合體（以下簡稱“聯(lián)合體”）成立大會在京召開，智芯公司、北京大學(xué)、清華大學(xué)、哈工大、北航、中科院微電子所、中科院空天研究院、中電科三十八所等23家單位入選聯(lián)合體首批成員單位，國家市場監(jiān)管總局、北京市科委相關(guān)領(lǐng)導(dǎo)出席成立大會并講話。

MEMS器件可靠性試驗(yàn)創(chuàng)新聯(lián)合體成立大會

聯(lián)合體由中國機(jī)械總院集團(tuán)基礎(chǔ)制造技術(shù)研究院（以下簡稱“中機(jī)研”）發(fā)起成立，成員單位涵蓋科研院所、高校、企業(yè)等多個領(lǐng)域。聯(lián)合體將重點(diǎn)圍繞MEMS器件設(shè)計(jì)仿真分析、基礎(chǔ)材料研發(fā)、標(biāo)準(zhǔn)工藝設(shè)計(jì)、測試技術(shù)、MEMS器件產(chǎn)品研發(fā)與中試驗(yàn)證等領(lǐng)域開展技術(shù)攻關(guān)，加速M(fèi)EMS器件研發(fā)創(chuàng)新與孵化。未來，聯(lián)合體將充分發(fā)揮各成員單位資源優(yōu)勢，以實(shí)際行動踐行國資委“要加快發(fā)展戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，支持中央企業(yè)牽頭建立創(chuàng)新聯(lián)合體，加快打造原創(chuàng)技術(shù)策源地，強(qiáng)化關(guān)鍵核心技術(shù)攻關(guān)”要求。

之前，智芯公司采集傳感事業(yè)部與中機(jī)研等標(biāo)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)共同推進(jìn)中國傳感器與物聯(lián)網(wǎng)產(chǎn)業(yè)聯(lián)盟能源專委會的標(biāo)準(zhǔn)工作。中機(jī)研作為專委會的副理事長單位和標(biāo)準(zhǔn)工作組的組長單位，協(xié)同專委會伙伴開展標(biāo)準(zhǔn)預(yù)研工作，成熟的標(biāo)準(zhǔn)草案對接不同的標(biāo)準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，已發(fā)布4項(xiàng)團(tuán)標(biāo)，正在起草4項(xiàng)行標(biāo)。作為TC336成員單位，智芯公司牽頭TC336能源領(lǐng)域MEMS技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)研究組工作，組織預(yù)研的《微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) MEMS磁傳感器技術(shù)規(guī)范》、《微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù) 車規(guī)級MEMS半導(dǎo)體氣體傳感器技術(shù)規(guī)范》2項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)提案正在國標(biāo)委立項(xiàng)公示，預(yù)計(jì)今年5月底正式立項(xiàng)。

MEMS器件可靠性試驗(yàn)創(chuàng)新聯(lián)合體成員單位授牌

下一步，智芯公司將積極參與聯(lián)合體建設(shè)，深度研究MEMS器件測試技術(shù)，實(shí)現(xiàn)對MEMS器件在線檢測和封裝后的檢測，并依托聯(lián)合體懷柔創(chuàng)新基地重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室及MEMS研發(fā)平臺，面向MEMS器件典型應(yīng)用場景，開展產(chǎn)品研發(fā)與中試驗(yàn)證。同時充分聯(lián)合各單位開展科技項(xiàng)目合作，加強(qiáng)能源領(lǐng)域傳感器的基礎(chǔ)技術(shù)和應(yīng)用研究，為新型電力系統(tǒng)的建設(shè)提供有力支撐。