KLA Instruments 小課堂

定期分享KLA Instruments旗下產(chǎn)品的各種技術(shù)資料、應(yīng)用筆記和使用指南。

旗下產(chǎn)品包括：輪廓儀、納米壓痕儀、薄膜測(cè)厚儀、方阻測(cè)量?jī)x以及晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng)。

我們的小課堂于2023年2月正式上線(xiàn)，去年一年獲得了大家廣泛的喜愛(ài)與支持。2024年，KLA Instruments團(tuán)隊(duì)將繼續(xù)努力，為大家?guī)?lái)更多行業(yè)資訊與技術(shù)干貨。

本期課程：

新應(yīng)用—KLA納米壓痕儀對(duì)電池材料的測(cè)量

電池的應(yīng)用極為廣泛，其通常以電化學(xué)反應(yīng)池的形式為各類(lèi)裝置供電。電池內(nèi)在失效和劣化對(duì)電池性能有重大影響，而其機(jī)制依賴(lài)于不同組成材料之間的電化學(xué)反應(yīng)和納米力學(xué)相互作用。下一代電池要求高能量密度和高充放電倍率（C-rate，充放電速率的一種衡量標(biāo)準(zhǔn)）。為此，業(yè)界在新材料、制造工藝和集成工藝等方面做出了巨大努力，以?xún)?yōu)化電池在更寬溫度范圍內(nèi)的性能[1]。

為了提高良率并擴(kuò)大生產(chǎn)規(guī)模，了解電池的失效模式及其根本原因至關(guān)重要。典型的電池失效模式可分為三類(lèi)：力學(xué)失效、熱失效和電氣失效。

01電池制造

典型的電池制造流程包括原料準(zhǔn)備、漿料混合、涂布、壓延、 分切、堆疊和封裝等步驟，如圖1所示。在整個(gè)流程中，納米壓痕技術(shù)可用于以下多種測(cè)量：

正極漿料顆粒的壓縮強(qiáng)度（直徑1-20微米）

粘結(jié)劑材料的復(fù)模量

正極復(fù)合材料涂層的壓痕硬度和模量

固態(tài)電解質(zhì)的壓痕硬度和模量

負(fù)極涂層的壓痕硬度和模量

疊層結(jié)構(gòu)的斷裂韌性和壓痕開(kāi)裂測(cè)試

圖1. 全固態(tài)電池(ASSB)大規(guī)模制造示意圖。聚合物和固態(tài)電解質(zhì)復(fù)合材料具有良好的機(jī)械加工性能，并能減小隔膜厚度從而提高電芯能量密度。圖片來(lái)源：Tan等。[2]

納米壓痕技術(shù)使電池研究能夠在微米尺度開(kāi)展，從而在電極和原料顆粒兩個(gè)層面上評(píng)估納米力學(xué)性能?；诖?，可以實(shí)現(xiàn)的目標(biāo)包括：

通過(guò)測(cè)量壓痕硬度、模量、斷裂韌性等， 促進(jìn)在材料缺陷尺度上對(duì)新興電池材料性能的研究，以及對(duì)失效機(jī)制的研究。

推動(dòng)循環(huán)充放電后的電池可靠性評(píng)估，從而防止失效。

優(yōu)化組件/材料在更寬溫度范圍內(nèi)的性能，從而增強(qiáng)電池的熱安全性和熱管理特性。

02正極力學(xué)響應(yīng)測(cè)量

KLA Instruments 的納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)提供多種不同的測(cè)試 方法。在測(cè)試涂敷在銅箔上的商用石墨復(fù)合材料時(shí)，我們開(kāi)發(fā)的測(cè)試方法可以控制驅(qū)動(dòng)力的施加、信號(hào)傳感、數(shù)據(jù)采集、參數(shù)計(jì)算和結(jié)果呈現(xiàn)等。

圖2（上）展示了彈性模量測(cè)量值隨深度的變化，插圖為L(zhǎng)iNiCoMnO2表面的SEM圖像。圖2（下）展示了正極硬度測(cè)量值隨深度的變化，插圖為作動(dòng)器的示意圖。設(shè)備提供不同的測(cè)試模式，以適配表面粗糙度不同的各類(lèi)材料。

圖2. 正極材料模量（上）和硬度（下）隨壓入深度的變化，插圖分別為LiNiCoMnO2表面的SEM圖像和KLA作動(dòng)器示意圖。SEM 圖像來(lái)源：MTI Corporation。

03

正極復(fù)合材料的高速納米力學(xué)性能成像

使用NanoBlitz 3D功能，可以對(duì)材料表面進(jìn)行納米力學(xué)性能成像，其在用戶(hù)指定區(qū)域運(yùn)行壓痕點(diǎn)陣，每1秒即可完成一個(gè)壓痕點(diǎn)的數(shù)據(jù)測(cè)量。

圖3展示了一種鋰離子電池正極的模量（上）和硬度（下）云圖，該正極中包含鋰鎳錳鈷氧化物（LiNiCoMnO2：53）活性顆粒的混合物。

圖3. 正極涂層的彈性模量（上）和硬度（下）的納米壓痕成像。

下圖的圖4中，在正極涂層表面標(biāo)示了進(jìn)行NanoBlitz 3D成像的區(qū)域。與傳統(tǒng)的連續(xù)剛度測(cè)量(CSM)方法相比，NanoBlitz 3D納米壓痕測(cè)試具有更高的信噪比，并能快速區(qū)分樣品中各物相的力學(xué)性能及其空間分布，因而是一種極為實(shí)用的測(cè)試方法。

圖4. NanoBlitz 3D測(cè)試區(qū)域如正極表面上的方框所示。

04單個(gè)顆粒原位壓縮

制造過(guò)程常會(huì)發(fā)生顆粒開(kāi)裂，這將導(dǎo)致進(jìn)一步的有害副反應(yīng)。使用KLA Instruments的InSEM 原位納米力學(xué)測(cè)試系統(tǒng)，可以對(duì)顆粒開(kāi)裂進(jìn)行原位觀(guān)察并同步測(cè)量顆粒的壓縮強(qiáng)度，其還可以原位測(cè)量復(fù)合涂層的力學(xué)性質(zhì)。

下圖的圖5展示了顆粒壓縮測(cè)試之前及之后的InSEM視頻圖像。

圖5-01. 顆粒壓縮測(cè)試之前的InSEM 視頻圖像

圖5-02. 顆粒壓縮測(cè)試之后的InSEM 視頻圖像

下圖的圖6展示了相應(yīng)的顆粒的載荷-壓縮量曲線(xiàn)（上）和斷裂應(yīng)力（下）。

圖6. 原位顆粒壓縮中的載荷-壓縮量曲線(xiàn)（上）和測(cè)得的斷裂應(yīng)力（下）

05粘結(jié)劑的粘彈響應(yīng)測(cè)量

我們的ProbeDMATM技術(shù)可用于粘結(jié)材料的局部動(dòng)態(tài)力學(xué)分析(DMA)測(cè)試。其優(yōu)勢(shì)在于，可通過(guò)納米壓痕儀定位表面的特定位置，以量化研究樣品局部的力學(xué)性能。圖7比較了干燥和潮濕條件下，測(cè)量得到的粘結(jié)劑儲(chǔ)存模量，測(cè)試頻率為10Hz。

圖7. 粘結(jié)劑在干燥和潮濕條件下的儲(chǔ)存模量（左）。在電解液中進(jìn)行納米壓痕測(cè)量（右）。圖片來(lái)源：Toyo Corporation。

06可變的電池材料測(cè)試環(huán)境

納米壓痕實(shí)驗(yàn)通常在大氣條件下進(jìn)行，但是某些電池材料要求在液體或高溫條件下進(jìn)行納米力學(xué)測(cè)試，其可能最適于在手套箱內(nèi)開(kāi)展。KLA Instruments的iMicro和iNano系統(tǒng)設(shè)計(jì)緊湊、體積小巧，非常適于此類(lèi)應(yīng)用。

圖8展示了Nano Indenter G200與手套箱聯(lián)用的測(cè)試系統(tǒng)，可以用于在電解液池中研究材料性能。測(cè)試時(shí)手套箱可以充氬氣，以評(píng)估材料在氬氣和液體環(huán)境下的納米力學(xué)性質(zhì)。

圖8. Nano Indenter G200與手套箱聯(lián)用的范例， 可以測(cè)量樣品在氬氣和液體環(huán)境下的力學(xué)響應(yīng)。圖片來(lái)源：Scalco de Vansconcelos等[3]。

07納米壓痕技術(shù)

在電池制造與研究中的用途與意義

電池制造的工藝步驟繁復(fù)，工藝的差別將影響電池中各層的均勻性和界面粘結(jié)強(qiáng)度等性能。電池材料研究中，要求在各類(lèi)應(yīng)用場(chǎng)景和環(huán)境條件下對(duì)材料行為和性能進(jìn)行測(cè)試，包括大氣、液體、氣氛和真空條件等。KLA Instruments的納米壓痕技術(shù)可以為電池材料研究或電池制造提供關(guān)鍵的納米力學(xué)性能數(shù)據(jù)。