11月18日—20日，備受矚目的第二十一屆中國國際半導(dǎo)體博覽會（IC China 2024）在北京國家會議中心盛大舉行。作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要盛會，此次博覽會聚焦半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈、供應(yīng)鏈及超大規(guī)模應(yīng)用市場，展現(xiàn)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展趨勢和技術(shù)創(chuàng)新成果，吸引了眾多國內(nèi)外知名企業(yè)和專業(yè)人士的積極參與。其中，寧波博威合金材料股份有限公司（簡稱“博威合金”，601137.SH）作為新材料領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，攜其半導(dǎo)體靶材背板用材亮相T-041展位，展示了其在半導(dǎo)體領(lǐng)域的新成果和技術(shù)創(chuàng)新。

半導(dǎo)體靶材背板材料在半導(dǎo)體芯片制造中扮演重要角色。靶材是磁控濺射沉積制備半導(dǎo)體晶圓、顯示面板、太陽能電池等產(chǎn)品用電子薄膜的核心材料，而靶材背板則是靶材不可或缺的構(gòu)成部分，對靶坯材料起到固定和保護(hù)的作用。靶材背板材料質(zhì)量與性能直接關(guān)乎靶材整體性能表現(xiàn)與使用穩(wěn)定性，進(jìn)而影響電子薄膜的生產(chǎn)效率及產(chǎn)品性能。博威合金T-041展位上，精心研發(fā)的PWHC、PlugMax等半導(dǎo)體行業(yè)用材方案，以高性能、高穩(wěn)定性和優(yōu)異的加工性能，吸引了眾多業(yè)內(nèi)人士的關(guān)注。

博威合金PWHC系列，擁有良好的導(dǎo)電和導(dǎo)熱性能，確保了靶材在高電壓、高真空的磁控濺射工作環(huán)境中均勻受熱，不變形，不開裂，穩(wěn)定可靠地完成了電子薄膜的沉積制備。如PWHC450優(yōu)異的導(dǎo)熱性保證了靶材的高效散熱，優(yōu)良的強(qiáng)度和韌性則起到了保護(hù)和加固靶坯材料的作用，顯著提高了靶坯材料的使用壽命和穩(wěn)定性；PWHC850的高導(dǎo)電與高熱導(dǎo)，可加速靶材背板散熱，其出色的強(qiáng)度和良好的加工性能更是符合了絕大部分靶材背板的應(yīng)用需求；PWHC985優(yōu)異的熱導(dǎo)率能確保熱量能夠快速傳遞，是服務(wù)器散熱部件等產(chǎn)品的理想選材。

PlugMax系列擁有優(yōu)異的強(qiáng)度和耐磨耐腐蝕性能。PlugMax22制造的檢測探針，不僅確保信號傳輸穩(wěn)定，且探針尖端不易磨損變形，能充分滿足半導(dǎo)體領(lǐng)域探針檢測需具備的性能要求。此外，博威合金4N5以上高純銅，具有純度高、晶粒均勻細(xì)小等特性，用于制造蒸鍍材料和濺射靶材，確保沉積制造的電子薄膜均勻度高，滿足了半導(dǎo)體、顯示面板等各類高端制造的用料需求。

作為新材料領(lǐng)域的佼佼者，博威合金擁有強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和先進(jìn)的生產(chǎn)工藝。其半導(dǎo)體靶材背板用材方案采用了先進(jìn)的合金材料和制造工藝，確保了產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。其系列產(chǎn)品具有出色的性能表現(xiàn)，提高了半導(dǎo)體器件的性能和可靠性，更為半導(dǎo)體制造領(lǐng)域帶來了新的解決方案和思路。

隨著全球科技產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，半導(dǎo)體作為信息技術(shù)的核心，其重要性日益凸顯。中國作為全球最大的半導(dǎo)體消費(fèi)國之一，在半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化道路上取得了顯著進(jìn)展。參加中國半導(dǎo)體博覽會，博威合金不僅展示了其技術(shù)實(shí)力，更是凸顯了半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化的持續(xù)發(fā)展。展望未來，博威合金強(qiáng)調(diào)，將繼續(xù)堅持創(chuàng)新驅(qū)動發(fā)展戰(zhàn)略，加快培育“新質(zhì)生產(chǎn)力”，推動半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的創(chuàng)新升級和高質(zhì)量發(fā)展，為全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)做出更大貢獻(xiàn)。

審核編輯 黃宇