科學(xué)服務(wù)領(lǐng)域的世界領(lǐng)導(dǎo)者賽默飛世爾科技公司宣布推出可改進(jìn)半導(dǎo)體制造的質(zhì)量控制以及提高其產(chǎn)量的新產(chǎn)品。這些新產(chǎn)品將于 2018 年 3 月 14-16 日在上海舉辦的中國國際半導(dǎo)體工業(yè)技術(shù)展上進(jìn)行展示（N5 展廳 5619 號展位）。

“賽默飛世爾根深深扎根于用于控制半導(dǎo)體和顯示屏制造領(lǐng)域的制造工藝以及診斷工藝和產(chǎn)品故障的根本原因的先進(jìn)分析技術(shù)，”賽默飛世爾半導(dǎo)體事業(yè)部副總裁兼總經(jīng)理 Rob Krueger 說?！氨局?，我們將推出新產(chǎn)品，幫助推動亞洲（特別是中國）半導(dǎo)體制造能力的快速創(chuàng)新和持續(xù)擴張?！?/p>

Verios G4 極高分辨率 SEM

Thermo Scientific Verios G4 極高分辨率 (XHR) 掃描電子顯微鏡 (SEM) 提供確定缺陷、成品率損失以及工藝和產(chǎn)品故障的根本原因所需的功能和靈活性。

“Verios G4 是從我們 DualBeam（聚焦離子束/SEM）儀器大獲成功的 Helios 系列衍生出來的純 SEM 解決方案，”Krueger 說?！霸摦a(chǎn)品可在各種條件下提供行業(yè)領(lǐng)先的性能，尤其是在先進(jìn)工藝中使用的電子束敏感材料所需的低電壓條件下。”

Hyperion II 快速高效的納米探針

納米探針可以對各個晶體管進(jìn)行直接電氣測量。新型 Thermo Scientific Hyperion II 是唯一一款基于原子力顯微鏡 (AFM) 的商用納米探針，它消除了基于 SEM 的納米探針的真空要求和電子束/樣本相互作用。Hyperion II 的自動化操作和成像模式旨在提高速度和易用性。此外，其精確定位電氣故障的能力可提高后續(xù) DualBeam 或 TEM 分析的速度和效率。

用于快速可靠的化學(xué)監(jiān)測的 iCAP TQs ICP-MS

Thermo Scientific iCAP TQs 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀 (ICP-MS) 是成熟的 iCAP TQ ICP-MS 的專用半導(dǎo)體版本。它能夠快速、可靠且可重復(fù)地測量超高純度 (UHP) 化學(xué)品中的低濃度污染物，以支持先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝的自動化在線監(jiān)測和統(tǒng)計過程控制。iCAP TQs ICP-MS 在單個高性能解決方案中將超低濃度檢測和簡便性提高到全新的水平。利用這個全新系統(tǒng)，現(xiàn)在可以將化學(xué)分析從實驗室遷移到制造廠，并實現(xiàn)在線控制化學(xué)浴，從而縮短響應(yīng)時間。