科學(xué)服務(wù)領(lǐng)域的世界領(lǐng)導(dǎo)者賽默飛世爾科技公司宣布推出可改進(jìn)半導(dǎo)體制造的質(zhì)量控制以及提高其產(chǎn)量的新產(chǎn)品。這些新產(chǎn)品將于 2018 年 3 月 14-16 日在上海舉辦的中國國際半導(dǎo)體工業(yè)技術(shù)展上進(jìn)行展示（N5 展廳 5619 號(hào)展位）。

“賽默飛世爾根深深扎根于用于控制半導(dǎo)體和顯示屏制造領(lǐng)域的制造工藝以及診斷工藝和產(chǎn)品故障的根本原因的先進(jìn)分析技術(shù)，”賽默飛世爾半導(dǎo)體事業(yè)部副總裁兼總經(jīng)理 Rob Krueger 說?！氨局埽覀儗⑼瞥鲂庐a(chǎn)品，幫助推動(dòng)亞洲（特別是中國）半導(dǎo)體制造能力的快速創(chuàng)新和持續(xù)擴(kuò)張。”

Verios G4 極高分辨率 SEM

Thermo Scientific Verios G4 極高分辨率 (XHR) 掃描電子顯微鏡 (SEM) 提供確定缺陷、成品率損失以及工藝和產(chǎn)品故障的根本原因所需的功能和靈活性。

“Verios G4 是從我們 DualBeam（聚焦離子束/SEM）儀器大獲成功的 Helios 系列衍生出來的純 SEM 解決方案，”Krueger 說。“該產(chǎn)品可在各種條件下提供行業(yè)領(lǐng)先的性能，尤其是在先進(jìn)工藝中使用的電子束敏感材料所需的低電壓條件下?！?/p>

Hyperion II 快速高效的納米探針

納米探針可以對(duì)各個(gè)晶體管進(jìn)行直接電氣測(cè)量。新型 Thermo Scientific Hyperion II 是唯一一款基于原子力顯微鏡 (AFM) 的商用納米探針，它消除了基于 SEM 的納米探針的真空要求和電子束/樣本相互作用。Hyperion II 的自動(dòng)化操作和成像模式旨在提高速度和易用性。此外，其精確定位電氣故障的能力可提高后續(xù) DualBeam 或 TEM 分析的速度和效率。

用于快速可靠的化學(xué)監(jiān)測(cè)的 iCAP TQs ICP-MS

Thermo Scientific iCAP TQs 電感耦合等離子體質(zhì)譜儀 (ICP-MS) 是成熟的 iCAP TQ ICP-MS 的專用半導(dǎo)體版本。它能夠快速、可靠且可重復(fù)地測(cè)量超高純度 (UHP) 化學(xué)品中的低濃度污染物，以支持先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工藝的自動(dòng)化在線監(jiān)測(cè)和統(tǒng)計(jì)過程控制。iCAP TQs ICP-MS 在單個(gè)高性能解決方案中將超低濃度檢測(cè)和簡(jiǎn)便性提高到全新的水平。利用這個(gè)全新系統(tǒng)，現(xiàn)在可以將化學(xué)分析從實(shí)驗(yàn)室遷移到制造廠，并實(shí)現(xiàn)在線控制化學(xué)浴，從而縮短響應(yīng)時(shí)間。