你知道嗎？我們每天使用的手機(jī)、電腦、智能手表，甚至新能源汽車，都離不開(kāi)一個(gè)核心——芯片。而芯片的制造，又依賴一臺(tái)精密到極致的機(jī)器：光刻機(jī)。

但你知道嗎？光刻機(jī)的"心臟"里，藏著一個(gè)低調(diào)卻至關(guān)重要的部件——減速機(jī)。

在半導(dǎo)體制造過(guò)程中，光刻機(jī)需要在納米級(jí)精度下移動(dòng)晶圓（硅片），誤差不能超過(guò)幾納米。而減速機(jī)的作用，就是精準(zhǔn)控制機(jī)械臂的運(yùn)動(dòng)速度和位置，確保每一次曝光、每一次刻蝕都分毫不差。

速度控制：將電機(jī)的高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)換為工作端需要的低速高扭矩運(yùn)動(dòng)

定位精準(zhǔn)：確保機(jī)械臂每一次移動(dòng)都精確到位

運(yùn)動(dòng)穩(wěn)定：消除傳動(dòng)過(guò)程中的振動(dòng)和回程間隙

如果沒(méi)有高精度減速機(jī)，光刻機(jī)的機(jī)械臂可能會(huì)抖動(dòng)、偏移，導(dǎo)致芯片良率暴跌，甚至直接報(bào)廢?？梢哉f(shuō)，減速機(jī)的精度，直接決定了芯片的成敗。

在芯片工廠里，EUV光刻機(jī)要對(duì)準(zhǔn)、晶圓機(jī)器人要搬運(yùn)、檢測(cè)設(shè)備要掃描...這些動(dòng)作都離不開(kāi)減速機(jī)的精準(zhǔn)控制。目前全球能生產(chǎn)高端減速機(jī)的企業(yè)屈指可數(shù)，這些精密部件需要滿足近乎苛刻的要求。

材料要求極高：需要超強(qiáng)耐磨、抗疲勞的合金材料，否則高速運(yùn)轉(zhuǎn)下容易磨損。

加工精度變態(tài)：齒輪嚙合誤差必須控制在微米級(jí)，否則會(huì)影響整體運(yùn)動(dòng)精度。

長(zhǎng)期穩(wěn)定性：半導(dǎo)體設(shè)備24小時(shí)運(yùn)轉(zhuǎn)，減速機(jī)必須經(jīng)得起數(shù)萬(wàn)小時(shí)高強(qiáng)度工作而不退化。

正是這些嚴(yán)苛的標(biāo)準(zhǔn)，使得高精度減速機(jī)成為衡量一個(gè)國(guó)家高端制造水平的重要標(biāo)志之一。

蘇州璟豐機(jī)電——自動(dòng)化領(lǐng)域高速高精度系統(tǒng)集成商，為客戶提供自動(dòng)化產(chǎn)品，系統(tǒng)集成，控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)研發(fā)，提供成套解決方案。美國(guó)派克parker，日本哈默納科Harmonic，陶氏等品牌授權(quán)代理經(jīng)銷商。提供美國(guó)派克伺服電機(jī)、防爆電機(jī)、直線電機(jī)、驅(qū)動(dòng)器、減速機(jī)，日本哈默納科減速機(jī)、執(zhí)行元件，陶氏減速機(jī)，臺(tái)灣apex減速機(jī)系列產(chǎn)品的銷售及技術(shù)支持。