據(jù)麥姆斯咨詢報道，近日，KLA-Tencor（科天）在上海新國際博覽中心舉辦的中國國際半導體設備、材料、制造和服務展覽期間舉行了2018年中國半導體新聞發(fā)布會。KLA-Tencor資深客戶合作副總裁兼首席營銷官Oreste Donzella先生發(fā)表了題為“加速中國的成功（Accelerating China’s Success）”的主題演講。KLA-Tencor已經(jīng)充分準備好以工藝控制及良率管理設備供應商身份支持中國半導體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展。

KLA-Tencor資深客戶合作副總裁兼首席營銷官Oreste Donzella

首先，Oreste Donzella介紹當今半導體產(chǎn)業(yè)有兩個重要轉折點：第一，新的應用驅動發(fā)展，例如物聯(lián)網(wǎng)、5G、人工智能和自動駕駛等；第二，中國半導體的快速崛起，對全球半導體的貢獻和影響與日俱增。

“我們很欣喜地看到中國半導體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，KLA-Tencor在工藝控制及良率管理方面，全方面幫助和加速中國的成長?！監(jiān)reste Donzella表示，“中國將會是第一個5G商用化的國家，并且也在大力發(fā)展人工智能，因此充滿了半導體機遇?！?/p>

隨著技術的進步發(fā)展，半導體芯片的工藝步驟越來越多，也更加復雜化。如采用多重圖形技術的工藝則為達到1000多道，而工藝窗口的挑戰(zhàn)則要求幾乎是“零缺陷”，這就對工藝控制水平提出了更高的要求。制造過程中任何細小的錯誤都將導致重新流片，而其代價將會很大，因此在制造過程中，檢測和量測變得越來越重要，越早發(fā)現(xiàn)問題所在，可挽回的損失越大。Oreste Donzella指出：“晶圓廠的設備支出和過程控制需求達到歷史高位水平，未來有望實現(xiàn)進一步增長！”

晶圓廠設備支出和過程控制需求處于歷史高位

Oreste Donzella繼續(xù)說道：“大家從下面一幅圖可以看出：為什么半導體產(chǎn)業(yè)第二個重要轉折點在中國？這是因為中國半導體制造線遍地開花：從東北到華南深圳，從華東上海到中西部重慶、成都和武漢。實際上，不僅僅是半導體制造線，還包括半導體芯片設計、封裝和測試、設備和材料，中國半導體產(chǎn)業(yè)鏈全面布局與發(fā)展！”

中國半導體制造線迅速擴張

隨著近幾年中國政府對發(fā)展半導體產(chǎn)業(yè)的大力投資，中國半導體產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)蓬勃發(fā)展的局面。Oreste Donzella表示：“中國有很多對于我們很重要的客戶，KLA-Tencor與他們保持密切的合作關系，為他們提供所需的技術支持和服務。因此在2017年取得了很好的業(yè)績——中國訂單顯著增長（幾乎是2016年的3倍）。今后，KLA-Tencor會持續(xù)投入中國市場，加速中國半導體產(chǎn)業(yè)發(fā)展?！?/p>

中國訂單正在顯著增長

KLA-Tencor產(chǎn)品線涵蓋了半導體工藝的各個環(huán)節(jié)和技術節(jié)點，包括晶圓表面缺陷、光罩、薄膜等，也同時提供數(shù)據(jù)的分析和儲存。在其它領域，如高亮度LED、MEMS、功率器件等，KLA-Tencor也為客戶提供了大量的先進技術和機臺。

對于先進工藝，如7nm和5nm等設計節(jié)點，芯片制造商想要找到產(chǎn)品上的疊對誤差、線寬尺寸不均勻和易失效點的明確起因將變得越來越困難。KLA-Tencor推出了5款圖案成型控制系統(tǒng)，主要針對7nm以下的邏輯和尖端內存設計節(jié)點設計，以幫助芯片制造商實現(xiàn)多重曝光技術和EUV光刻所需的嚴格工藝寬容度。

KLA-Tencor產(chǎn)能和能力

Oreste Donzella最后指出，“KLA-Tencor持續(xù)的研發(fā)投入確保了公司從硅片檢測到線寬量測，以及光罩領域，都在業(yè)界處于領先地位。除了半導體檢測和量測設備業(yè)務以外，KLA-Tencor還為客戶提供技術支持與服務，幫助客戶實現(xiàn)更大的生產(chǎn)價值。對于中國市場來說，200毫米晶圓制造線比300毫米晶圓制造線更為渴求。為此，KLA-Tencor在200毫米檢測和量測設備方面繼續(xù)投入研發(fā)力量，以滿足中國半導體市場的火熱需求?！?/p>

“加速中國的成功”演講總結

關于KLA-Tencor

KLA-Tencor是全球工藝控管與良率管理解決方案的業(yè)界領跑者，與世界各地的客戶合作開發(fā)尖端的檢測和量測技術， 并且將這些技術致力于半導體，LED及其他相關納米電子產(chǎn)業(yè)。憑借行業(yè)標準的產(chǎn)品組合和世界一流的工程師及科學家團隊，近40年來公司持續(xù)為客戶打造卓越的解決方案。KLA-Tencor的總部位于加利福尼亞州米爾皮塔斯市，同時在全球各地設有運營和服務中心為客戶竭誠服務。

KLA-Tencor研發(fā)投資及收益（$M）