據(jù)麥姆斯咨詢(xún)報(bào)道，近日，KLA-Tencor（科天）在上海新國(guó)際博覽中心舉辦的中國(guó)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備、材料、制造和服務(wù)展覽期間舉行了2018年中國(guó)半導(dǎo)體新聞發(fā)布會(huì)。KLA-Tencor資深客戶(hù)合作副總裁兼首席營(yíng)銷(xiāo)官Oreste Donzella先生發(fā)表了題為“加速中國(guó)的成功（Accelerating China’s Success）”的主題演講。KLA-Tencor已經(jīng)充分準(zhǔn)備好以工藝控制及良率管理設(shè)備供應(yīng)商身份支持中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的蓬勃發(fā)展。

KLA-Tencor資深客戶(hù)合作副總裁兼首席營(yíng)銷(xiāo)官Oreste Donzella

首先，Oreste Donzella介紹當(dāng)今半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)有兩個(gè)重要轉(zhuǎn)折點(diǎn)：第一，新的應(yīng)用驅(qū)動(dòng)發(fā)展，例如物聯(lián)網(wǎng)、5G、人工智能和自動(dòng)駕駛等；第二，中國(guó)半導(dǎo)體的快速崛起，對(duì)全球半導(dǎo)體的貢獻(xiàn)和影響與日俱增。

“我們很欣喜地看到中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，KLA-Tencor在工藝控制及良率管理方面，全方面幫助和加速中國(guó)的成長(zhǎng)。”O(jiān)reste Donzella表示，“中國(guó)將會(huì)是第一個(gè)5G商用化的國(guó)家，并且也在大力發(fā)展人工智能，因此充滿(mǎn)了半導(dǎo)體機(jī)遇?！?/p>

隨著技術(shù)的進(jìn)步發(fā)展，半導(dǎo)體芯片的工藝步驟越來(lái)越多，也更加復(fù)雜化。如采用多重圖形技術(shù)的工藝則為達(dá)到1000多道，而工藝窗口的挑戰(zhàn)則要求幾乎是“零缺陷”，這就對(duì)工藝控制水平提出了更高的要求。制造過(guò)程中任何細(xì)小的錯(cuò)誤都將導(dǎo)致重新流片，而其代價(jià)將會(huì)很大，因此在制造過(guò)程中，檢測(cè)和量測(cè)變得越來(lái)越重要，越早發(fā)現(xiàn)問(wèn)題所在，可挽回的損失越大。Oreste Donzella指出：“晶圓廠的設(shè)備支出和過(guò)程控制需求達(dá)到歷史高位水平，未來(lái)有望實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步增長(zhǎng)！”

晶圓廠設(shè)備支出和過(guò)程控制需求處于歷史高位

Oreste Donzella繼續(xù)說(shuō)道：“大家從下面一幅圖可以看出：為什么半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)第二個(gè)重要轉(zhuǎn)折點(diǎn)在中國(guó)？這是因?yàn)橹袊?guó)半導(dǎo)體制造線遍地開(kāi)花：從東北到華南深圳，從華東上海到中西部重慶、成都和武漢。實(shí)際上，不僅僅是半導(dǎo)體制造線，還包括半導(dǎo)體芯片設(shè)計(jì)、封裝和測(cè)試、設(shè)備和材料，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈全面布局與發(fā)展！”

中國(guó)半導(dǎo)體制造線迅速擴(kuò)張

隨著近幾年中國(guó)政府對(duì)發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大力投資，中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)蓬勃發(fā)展的局面。Oreste Donzella表示：“中國(guó)有很多對(duì)于我們很重要的客戶(hù)，KLA-Tencor與他們保持密切的合作關(guān)系，為他們提供所需的技術(shù)支持和服務(wù)。因此在2017年取得了很好的業(yè)績(jī)——中國(guó)訂單顯著增長(zhǎng)（幾乎是2016年的3倍）。今后，KLA-Tencor會(huì)持續(xù)投入中國(guó)市場(chǎng)，加速中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展。”

中國(guó)訂單正在顯著增長(zhǎng)

KLA-Tencor產(chǎn)品線涵蓋了半導(dǎo)體工藝的各個(gè)環(huán)節(jié)和技術(shù)節(jié)點(diǎn)，包括晶圓表面缺陷、光罩、薄膜等，也同時(shí)提供數(shù)據(jù)的分析和儲(chǔ)存。在其它領(lǐng)域，如高亮度LED、MEMS、功率器件等，KLA-Tencor也為客戶(hù)提供了大量的先進(jìn)技術(shù)和機(jī)臺(tái)。

對(duì)于先進(jìn)工藝，如7nm和5nm等設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)，芯片制造商想要找到產(chǎn)品上的疊對(duì)誤差、線寬尺寸不均勻和易失效點(diǎn)的明確起因?qū)⒆兊迷絹?lái)越困難。KLA-Tencor推出了5款圖案成型控制系統(tǒng)，主要針對(duì)7nm以下的邏輯和尖端內(nèi)存設(shè)計(jì)節(jié)點(diǎn)設(shè)計(jì)，以幫助芯片制造商實(shí)現(xiàn)多重曝光技術(shù)和EUV光刻所需的嚴(yán)格工藝寬容度。

KLA-Tencor產(chǎn)能和能力

Oreste Donzella最后指出，“KLA-Tencor持續(xù)的研發(fā)投入確保了公司從硅片檢測(cè)到線寬量測(cè)，以及光罩領(lǐng)域，都在業(yè)界處于領(lǐng)先地位。除了半導(dǎo)體檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備業(yè)務(wù)以外，KLA-Tencor還為客戶(hù)提供技術(shù)支持與服務(wù)，幫助客戶(hù)實(shí)現(xiàn)更大的生產(chǎn)價(jià)值。對(duì)于中國(guó)市場(chǎng)來(lái)說(shuō)，200毫米晶圓制造線比300毫米晶圓制造線更為渴求。為此，KLA-Tencor在200毫米檢測(cè)和量測(cè)設(shè)備方面繼續(xù)投入研發(fā)力量，以滿(mǎn)足中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)的火熱需求?！?/p>

“加速中國(guó)的成功”演講總結(jié)

關(guān)于KLA-Tencor

KLA-Tencor是全球工藝控管與良率管理解決方案的業(yè)界領(lǐng)跑者，與世界各地的客戶(hù)合作開(kāi)發(fā)尖端的檢測(cè)和量測(cè)技術(shù)， 并且將這些技術(shù)致力于半導(dǎo)體，LED及其他相關(guān)納米電子產(chǎn)業(yè)。憑借行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的產(chǎn)品組合和世界一流的工程師及科學(xué)家團(tuán)隊(duì)，近40年來(lái)公司持續(xù)為客戶(hù)打造卓越的解決方案。KLA-Tencor的總部位于加利福尼亞州米爾皮塔斯市，同時(shí)在全球各地設(shè)有運(yùn)營(yíng)和服務(wù)中心為客戶(hù)竭誠(chéng)服務(wù)。

KLA-Tencor研發(fā)投資及收益（$M）