半導(dǎo)體清洗機(jī)的循環(huán)泵是確保清洗液高效流動(dòng)、均勻分布和穩(wěn)定過濾的核心部件。以下是其正確使用方法及關(guān)鍵注意事項(xiàng)：

一、啟動(dòng)前準(zhǔn)備

系統(tǒng)檢漏與排氣

• 確認(rèn)所有連接管路無松動(dòng)或泄漏（可用肥皂水涂抹接口檢測氣泡）；
• 打開泵體頂部的手動(dòng)排氣閥，向入口側(cè)注入高純DI水直至出水口連續(xù)流出無氣泡為止，排除空氣避免氣蝕現(xiàn)象。

參數(shù)預(yù)設(shè)匹配工藝需求

• 根據(jù)清洗配方設(shè)定流量范圍（通常5–20L/min可調(diào)），通過變頻器控制電機(jī)轉(zhuǎn)速；
• 校準(zhǔn)壓力傳感器上限值（建議不超過設(shè)備額定工作壓力的80%），防止超壓損壞密封組件。

二、運(yùn)行操作規(guī)范

標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)流程

漸進(jìn)式加壓啟動(dòng)

• 先以低速模式運(yùn)行泵體（＜30%額定轉(zhuǎn)速），觀察進(jìn)出口壓力差是否穩(wěn)定在合理區(qū)間（ΔP≤0.5bar）；
• 逐步提升至目標(biāo)流速，同步監(jiān)測過濾器前后壓差變化，若超過設(shè)定報(bào)警閾值需立即切換備用濾芯。

多級(jí)過濾協(xié)同管理

• 粗濾階段：使用50μm袋式過濾器攔截大顆粒雜質(zhì)；
• 精濾階段：配置0.1μm囊式濾器保障流體潔凈度，注意定期更換避免堵塞導(dǎo)致流量衰減；
• 化學(xué)兼容性驗(yàn)證：針對(duì)腐蝕性溶液（如HF酸洗體系），選用PTFE涂層葉輪及FFKM氟橡膠密封圈。

溫度閉環(huán)控制系統(tǒng)介入

• 開啟板式換熱器循環(huán)回路，設(shè)定溫控精度±2℃，維持清洗液最佳反應(yīng)溫度（典型值25–60℃）；
• 實(shí)時(shí)采集出口端熱電偶信號(hào)反饋至PLC系統(tǒng)，自動(dòng)調(diào)節(jié)冷卻/加熱功率輸出。

三、異常處理指南

四、維護(hù)周期與保養(yǎng)要點(diǎn)

日常點(diǎn)檢項(xiàng)目

• 每日記錄進(jìn)出口壓力表讀數(shù)差值變化趨勢；
• 每周檢測電機(jī)絕緣電阻值（應(yīng)＞50MΩ）；
• 每月清理泵腔內(nèi)積聚的晶圓碎屑（使用無塵布蘸取IPA溶劑擦拭）。

預(yù)防性維修計(jì)劃

• 每季度進(jìn)行潤滑油脂補(bǔ)充（食品級(jí)硅基脂）；
• 每半年實(shí)施全面性能測試：在最大流量下連續(xù)運(yùn)行8小時(shí)，驗(yàn)證溫升是否＜15℃；
• 年度大修時(shí)更換易損件套裝（包括機(jī)械密封組件、軸承總成等）。

五、典型應(yīng)用場景適配方案

例1：RCA清洗工藝優(yōu)化

采用雙級(jí)離心泵串聯(lián)配置：首級(jí)負(fù)責(zé)大流量輸送（保證槽體內(nèi)湍流強(qiáng)度），次級(jí)提供高壓噴淋（突破邊界層效應(yīng)）。通過調(diào)節(jié)兩級(jí)轉(zhuǎn)速比例實(shí)現(xiàn)NH?OH:H?O?混合液的最佳空化效果。

例2：兆聲波清洗系統(tǒng)整合

選用脈沖式柱塞泵生成周期性壓力波動(dòng)，與換能器振動(dòng)頻率形成共振疊加效應(yīng)。配合質(zhì)量流量計(jì)精確控制SC-1溶液供給量，使聲流密度提升40%。

六、安全警示事項(xiàng)

?? 絕對(duì)禁止行為：

• 未關(guān)閉電源情況下拆卸泵體蓋板；
• 直接用手觸碰運(yùn)轉(zhuǎn)中的聯(lián)軸器；
• 將非專用清潔劑導(dǎo)入系統(tǒng)導(dǎo)致材料腐蝕。

? 推薦操作習(xí)慣：

• 佩戴防濺護(hù)目鏡進(jìn)行任何近場維護(hù)；
• 建立設(shè)備日志卡記錄每次維護(hù)內(nèi)容；
• 定期參加廠商提供的技術(shù)服務(wù)培訓(xùn)課程。

通過規(guī)范化的操作流程、精準(zhǔn)的參數(shù)控制和科學(xué)的維護(hù)保養(yǎng)，可使循環(huán)泵系統(tǒng)保持長期穩(wěn)定運(yùn)行，為半導(dǎo)體清洗工藝提供可靠的流體動(dòng)力保障。實(shí)際使用中建議結(jié)合具體設(shè)備的user manual進(jìn)行個(gè)性化調(diào)整，并建立完整的過程控制文檔體系。