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半導體制造設備防震基座Foundation分類-江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有效公司

江蘇泊蘇系統(tǒng)集成有限公司 ? 2025-08-05 15:54 ? 次閱讀
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防震基座Foundation分類

從「被動防御」到「主動降維打擊」
Foundation工程主要在于提供機臺穩(wěn)定之支撐,同時具備制震及震動隔離之目的。

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1. 功能型分類

· 主動式防震基座通過高靈敏度傳感器+中央控制器實時抵消震波(如氣浮或電磁驅(qū)動),隔振效率可達95%。

· 高剛性基座 :采用鋼構或RC結構,以“硬碰硬”方式抵御低頻振動,適用于重型設備。

· RC阻尼式基座 :在混凝土中嵌入阻尼材料(如鉛芯橡膠),兼具剛性與能量耗散能力。

·

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2. 工法分類

· 獨立腳柱(大象腳) :單點支撐+隔振墊,適合空間受限場景。

· 鋼構式基座 :模塊化設計,精度可達±0.5mm,適配高架地板系統(tǒng)。

· RC板式基座 :超長無縫設計,避免溫度應力開裂,厚度≥200mm。

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防震基座Foundation工程范圍

從「毫米級定位」到「全生命周期管理」
設計階段 :需綜合設備重量(如光刻機5噸級)、振動頻譜(4-100Hz敏感區(qū))及地質(zhì)條件(如防液化處理)。
施工階段 :潔凈室環(huán)境下,采用非焊接組裝(防塵)、AB膠固化(12小時監(jiān)測)及微米級調(diào)平(激光定位±0.1mm)。
運維階段 :振動傳感器實時監(jiān)測+年檢制度,確保隔振效能不衰減。

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防震基座Foundation施工流程

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