在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，過濾系統(tǒng)的性能直接關(guān)系到芯片成品的質(zhì)量與可靠性。隨著芯片工藝不斷升級(jí)，對(duì)過濾材料的精度、通量和耐久性提出了更高要求。以大連義邦推出的DEXMET PFA全氟過濾支撐網(wǎng)為代表的新一代過濾支撐材料，憑借其卓越的耐腐蝕性、高純度和優(yōu)良的物理性能，正在成為高端芯片制造環(huán)節(jié)中不可或缺的關(guān)鍵組件。

PFA過濾網(wǎng)的行業(yè)優(yōu)勢(shì)與顯著特性

PFA（全氟烷氧基）材料以其極強(qiáng)的化學(xué)惰性和耐腐蝕能力，在苛刻環(huán)境下依然能保持材料穩(wěn)定性，不易被強(qiáng)酸、強(qiáng)堿等腐蝕性介質(zhì)侵蝕。這一特性對(duì)于半導(dǎo)體生產(chǎn)線至關(guān)重要，因?yàn)樵诠饪?、蝕刻、CMP等工藝中，常常需要處理大量高純度化學(xué)品和清洗液，普通材料難以勝任，而PFA過濾網(wǎng)則能有效抵御這些化學(xué)物質(zhì)的侵蝕，延長(zhǎng)過濾系統(tǒng)的使用壽命，減少維護(hù)成本。

此外，PFA過濾網(wǎng)具備極低的摩擦系數(shù)和優(yōu)異的自潤(rùn)滑性能，能有效降低顆粒在過濾過程中的附著，減少堵塞現(xiàn)象，提升過濾效率和通量。其高純度特性也能最大限度地避免二次污染，幫助企業(yè)維持超潔凈的生產(chǎn)環(huán)境，保障芯片良率。

高精度與創(chuàng)新工藝帶來的突破

與傳統(tǒng)編織網(wǎng)相比，DEXMET PFA全氟過濾支撐網(wǎng)采用先進(jìn)的延展工藝，通過定制精密模具沿單一方向精確撕裂和拉伸，實(shí)現(xiàn)了高過濾精度與大通量的完美結(jié)合。該工藝不僅保證了支撐網(wǎng)結(jié)構(gòu)的均勻性和穩(wěn)定性，還能實(shí)現(xiàn)0.11mm及以下的過濾精度，滿足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)微米級(jí)顆粒的嚴(yán)格攔截需求。

目前，在國(guó)際上，除了DEXMET，其它供應(yīng)商還無法實(shí)現(xiàn)0.11mm厚度的工業(yè)化量產(chǎn)。這種延展網(wǎng)是由定制的精密模具沿一個(gè)方向撕裂和拉伸而成。DEXMET是少數(shù)能夠穩(wěn)定生產(chǎn)高純度PFA和PTFE聚合物延展網(wǎng)的國(guó)際供應(yīng)商之一。這種高精密支撐層具有極強(qiáng)的化學(xué)穩(wěn)定性、耐腐蝕性，良好的自潤(rùn)滑性和極低的摩擦系數(shù)，使得過濾磨損極小。

Dexmet PFA延展過濾網(wǎng)的應(yīng)用

目前，大連義邦的Dexmet PFA延展過濾支撐網(wǎng)贏得了全球領(lǐng)先過濾制造商的青睞，包括Pall集團(tuán)等行業(yè)巨頭的信任。這種過濾網(wǎng)代表了過濾技術(shù)的創(chuàng)新，提供了行業(yè)領(lǐng)先的精度、耐用性和性能。通過將這些先進(jìn)的過濾器集成到生產(chǎn)流程中，制造商能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)高質(zhì)量、可靠半導(dǎo)體芯片所需的超潔凈環(huán)境。