導航和AHRS系統(tǒng)、機器健康狀況檢測的振動監(jiān)控、基礎設施的結構健康狀況監(jiān)控和平臺穩(wěn)定、井下定向鉆探的傾斜監(jiān)控、施工行業(yè)平路機和勘測設備的調平、吊車穩(wěn)定系統(tǒng)吊桿傾角測量的高精度傾角計……

它們，都需要高性能 MEMS 加速度計來提供低成本解決方案！

一般，加速度計會經(jīng)受不同幅度的振動，但上述這些應用的另一個不同方面是振動的頻率成分。振動與傳感器和系統(tǒng)誤差源相結合可能導致振動校正，這是高性能加速度計的一個重要指標。

本文將告訴你們——

? MEMS 加速度計中的振動校正是如何發(fā)生的？

? 測量振動校正需要知道的參數(shù)以及使用的技術。

作為案例研究，文中會討論低噪聲、低功耗加速度計 ADXL355 的振動校正。ps.低振動校正誤差以及所有其他特性，使這款器件成為上述精密應用的理想之選。

振動校正的來源

振動校正誤差 (VRE) 是加速度計對交流振動（被整流為直流）的響應，表現(xiàn)為加速度計失調的異常偏移。在傾角計等應用中，這是一個重大誤差源，因為加速度計的直流輸出是目標信號，失調的任何改變都可能被錯誤地解讀為傾角變化，導致誤差一路向下傳遞，從而引起安全系統(tǒng)誤觸發(fā)、平臺穩(wěn)定或鉆桅對準機制過度補償?shù)取?/p>

VRE 高度依賴于加速度計所經(jīng)受的振動特性曲線，不同應用施加于加速度計的振動模式會不同，因而 VRE 可能不同。振動校正有多種發(fā)生機制，本文討論其中的兩種。

非對稱軌

重力產(chǎn)生一個靜態(tài) 1 g (9.8 m/s2) 加速度場，當加速度計敏感軸豎直對齊時，其測量范圍會有一個偏移。2 g 滿量程范圍的傳感器與重力加速度對齊時，將只能測量 1 g 峰值振動，否則響應會被削波。超過 1 g 的對稱激勵信號的平均值將不為零，原因是在經(jīng)受額外 1 g 加速度的方向上，電平會被削波。

圖 1 中，一個激勵振動信號施加于 2 g 滿量程傳感器上。當振動為 0.3 g rms（300到600樣本之間）時，失調沒有可觀測的偏移。然而，當振動為 1 g rms（600到1000樣本之間）時，VRE約為 –100 mg。

VRE 可建模為一個截斷分布的平均偏移，受加速度計滿量程范圍的限制。當傳感器在 1 g 場中經(jīng)受隨機振動時，輸入激勵信號可建模為一個平均值 μ= 1 g 且標準差 σ= X 的正態(tài)分布，其中X表示輸入振動幅度均方根值。傳感器輸出建模為雙截斷正態(tài)分布，輸出值下界和上界分別為–R和+R，其中R為傳感器的最大范圍。此雙截斷正態(tài)分布的平均值計算如下：

其中，

為概率密度函數(shù)，

為其累積分布函數(shù)。

α 和 β 被定義為

這樣 VRE 即為：

比例因子非線性誤差

非線性誤差是指工作范圍內加速度計輸出與最佳擬合直線的偏差。此偏差常常用滿量程輸出范圍的百分比表示。加速度計的非線性誤差可能引起 VRE。

描述加速度計非線性的常見模型是n次多項式。輸出ao (LSB)可表示為輸入ai (g)的函數(shù)：

其中：

K0：失調 (LSB)

K1：比例因子 (LSB/g)

Kn：非線性的n次項系數(shù)，n = 2,3, … (LSB/gn)

考慮一個簡單的正弦輸入加速度：

此輸入的時間平均值為零。加速度計的輸出可表示為：

時間平均輸出等于上式右側所有分量的時間平均值之和。奇數(shù)次項的平均值為零。帶入偶數(shù)次項的平均值

輸出的時間平均值即為：

其中Grms為輸入加速度的均方根值。上式說明，在一個正弦振動的情況下，二次非線性轉換為直流失調的偏移 (K2Grms2)。

代表振動校正系數(shù) (VRC)，單位為 μg/g2-rms。

振動校正的幅度和頻率相關性

振動幅度很小時，VRE 以傳感器非線性為主，可用 VRC 來表示： VRE = VRC × vib2rms。然而，當振動幅度大于滿量程范圍時，VRE 往往以上一部分所述的非對稱削波為主。另外，正如之前提到的，加速度計輸出的任何非零失調也會引起非對稱削波。大多數(shù)針對工業(yè)應用而設計的MEMS 加速度計都會內置故障安全電路，在有很大振動時，它會關閉傳感器偏置電路，防止檢測元件受損。振動幅度很大時，此特性可能會在失調中進一步引起異常偏移，使 VR E惡化。

由于各種諧振和器件中的濾波器，VRE 常常具有很強的頻率相關性。由于諧振器的兩極響應，在傳感器的諧振頻率下，MEMS 傳感器諧振會放大振動，放大比率等于諧振品質因數(shù)，而在頻率較高時則會抑制振動。諧振品質因數(shù)較高的傳感器，振動幅度越大，其VRE也越大。由于高頻帶內振動的積分效應，較大的測量帶寬也會引起較高的VRE。信號處理電路中實現(xiàn)的模擬和數(shù)字濾波器可抑制輸出端的帶外振動峰值和諧波，但對 VRE 沒有明顯作用，原因是振動輸入被偶數(shù)次非線性整流為直流信號。

測量振動校正

一旦將加速度計部署于現(xiàn)場，便無法實時補償 VRE。在有些應用中，振動引起失調中出現(xiàn)較小直流偏移是可以容忍的，對此可以測量 VRE 以估計加速度計輸出中的誤差，從而確定 VRE 是否在允許限度內。在任何振動測量中，振動臺和試驗夾具必須平齊，并且必須使用精密振動臺以抑制振動臺跨軸振動、偏移和結構諧振引起的誤差。另外，試驗夾具必須具有適當?shù)膭偠龋_保夾具諧振頻率離加速度計帶寬和振動曲線頻段很遠。最優(yōu)夾具設計的最低諧振頻率應當比最高振動頻率高出大約 50%。

正弦振動特性曲線

正弦振動方法是最常用且現(xiàn)有文獻討論最多的方法，已被納入 IEEE標準 1293-1998。一般程序是將一個正弦振動輸入施加于加速度計，然后測量失調偏移與均方根振動幅度(vibrms)的關系。VRC 可以通過對此數(shù)據(jù)應用最小二乘法來估算：

由于可以很好地控制幅度，并且可以確保加速度計不會削波，因此通過這種方法能夠精確測量 VRC。這種測試還能用來識別并量化器件諧振對 VRE 的影響。然而，它一次只能測試一個頻率，而要充分衡量傳感器性能，必須分別測試加速度計帶寬范圍內的多個頻率。

隨機振動特性曲線

VRE 也可以利用隨機振動輸入來測量。通常，實際的振動不像正弦振動特性曲線那樣呈周期性或可預測，因此通過這種方法可以衡量加速度計在大部分應用中的性能。通過量化寬頻率范圍內寬帶激勵的失調偏移，這種方法更適合于同時納入所有擾頻并激勵所有器件諧振。然而，它不保證峰峰值振動幅度，故而獲得的VRE為頻率范圍上的平均值。

圖 2 比較了配置為 ±2 g 范圍的 ADXL355 Z 軸傳感器的截斷平均值模型與實測VRE。測量中，Z 軸與重力（1 g場）對齊，利用 Unholtz-Dickie 振動臺施加一個隨機振動特性曲線（50 Hz至2 kHz頻段）。利用一個參考加速度計（PCB Piezotronics 352C23型）測量振動幅度；當振動幅度提高到滿量程范圍以上時，測量失調偏移。截斷平均值模型（擬合到2.5 g截斷）與測量結果擬合得很好。由于機械傳感器開銷和輸出帶寬限制（測量數(shù)據(jù)中的加速度計帶寬為1kHz，但模型不考慮帶寬），截斷相對于設置的滿量程范圍預計會有偏差。當振動水平達到8 g時，±2 g范圍的超范圍保護電路就會激活。高斯分布振動的波峰因數(shù)約為3，因此超過2.5 g rms后，實測性能開始明顯偏離模型。

影響VRE的其他因素

MEMS 傳感器諧振會影響加速度計的振動校正。高質量因數(shù)會導致頻率接近傳感器諧振頻率的振動信號被放大，引起較大 VRE。這可以通過比較 ADXL355（±8 g范圍、1 kHz帶寬）的 Z 軸傳感器與X軸和Y軸傳感器的VRE性能得知；圖 3 顯示X軸和Y軸傳感器的 VRE在 3 g rms 左右達到峰值，因為其 Q 高于 Z 軸傳感器。

使用不必要的較大帶寬時，也會導致加速度計對較高頻率成分求均值，從而對 VRE 產(chǎn)生不利影響。圖4反映了這一點，其比較了 ADXL355 DUT（±2 g范圍）的 Y 軸傳感器在兩種不同帶寬設置下的 VRE。125 Hz 帶寬設置的 VRE 顯著低于1 kHz帶寬設置的VRE。

結語

為加速度計選擇合適的帶寬以抑制高頻振動，可以避免很多振動相關問題。通過放大諧振時的振動耦合，包裝因素（如封裝和安裝諧振）也會影響 VRE。確保封裝有適當?shù)膭偠?，讓封裝和安裝諧振頻率位于加速度計帶寬之外，是實現(xiàn)良好振動校正性能的關鍵。

總之，振動校正誤差是 MEMS 加速度計的一個重要指標，設計利用 MEMS 加速度計在高振動環(huán)境中進行直流測量時，應當考慮這種效應。