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電壓放大器驅動壓電微機械超聲換能器 (PMUT) 的聲納成像系統(tǒng)研究

測試技術分享 ? 來源:測試技術分享 ? 作者:測試技術分享 ? 2025-08-18 11:09 ? 次閱讀
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?超聲波換能器在聲納成像系統(tǒng)中起著重要作用,因為它有助于實現電信號和聲信號的相互轉換。對于聲納成像設備,超聲換能器通常由塊壓電陶瓷制成,并在厚度振動模式下工作。隨著微機電系統(tǒng)(MEMS)技術的快速發(fā)展,微超聲換能器(MUT)應運而生。由于MUT具有小尺寸、批量模式生產和CMOS工藝兼容性,并且可以很容易地與先進的封裝技術進行陣列,許多研究人員已經探索了其替代傳統(tǒng)超聲換能器的應用。與PZT相比,AlN不含有毒鉛,并且與CMOS技術兼容。雖然它的壓電系數比PZT小一個數量級,但其介電常數小兩個數量級,理論上,AlNPMUT的接收靈敏度比PZTPMUT高一個數量級。因此,AlNPMUT具有替代聲納成像接收器陣列中的體傳感器的良好潛力。

安泰電子的ATA-2000系列高壓放大器基于采用AB類放大電路,具有低失真、高穩(wěn)定的特點。其最大帶寬可達1MHz,最大輸出電壓可達1600Vpp,廣泛應用于各類壓電材料測試及性能評估。

實驗名稱:基于氮化鋁(AlN)的壓電微機械超聲換能器用于聲納成像應用研究

實驗原理:氮化鋁(AlN)作為壓電材料,具有寬帶隙、低介電常數、高熱導率、優(yōu)異的壓電特性以及良好的化學穩(wěn)定性,是制造PMUT的理想選擇。PMUT的工作原理基于壓電效應,即當壓電材料受到外力作用時,會產生電荷分布的變化,從而發(fā)射超聲波;反之,當壓電材料受到超聲波作用時,會產生機械振動,進而轉化為電信號。

實驗框圖:

基于氮化鋁(AlN)的壓電微機械超聲換能器用于聲納成像應用研究實驗框圖

實驗過程:為了測量PMUT的水下接收靈敏度,使用了來自研究機構的商用標準水聽器。同時,將PMUT*用作發(fā)射器,將商用標準水聲換能器PMUT作為接收器放置在距離發(fā)射器約3.6cm的地方,依次接收超聲。信號產生輸出一個1Vpp、5個循環(huán)的脈沖正弦波信號,該信號被功率放大器(ATA-2021BAigtek)放大60倍,以激勵PMUT發(fā)射器發(fā)射聲波。波通過水介質傳播,并被PMUT接收器和水聽器表面捕獲,經過前置放大器放大后在示波器上讀取和分析水聽器和PMUT接收器電壓的峰峰值。

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圖:ATA-2021B高壓放大器指標參數

應用方向:三維成像與定位、生物醫(yī)學成像、非接觸式測量與傳感、高分辨率成像、水下探測

應用場景:壓電微機械超聲換能器(PMUT)、氮化鋁(AlN)、聲納成像、三維成像、水下探測、陣列技術、高頻超聲

產品推薦:ATA-2000系列高壓放大器

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圖:ATA-2000系列高壓放大器指標參數

西安安泰電子是專業(yè)從事功率放大器、高壓放大器、功率信號源、前置微小信號放大器、高精度電壓源、高精度電流源等電子測量儀器研發(fā)、生產和銷售的高科技企業(yè),為用戶提供具有競爭力的測試方案。Aigtek已經成為在業(yè)界擁有廣泛產品線,且具有相當規(guī)模的儀器設備供應商,樣機都支持免費試用。

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