如果把芯片比作一幅平面雕刻作品，那么刻蝕機(jī)便是執(zhí)行"原子削減術(shù)"的納米雕刻刀，而硅片上下料設(shè)備則是實(shí)現(xiàn)"硅片交響樂"的精密指揮家。

在這場精度達(dá)到頭發(fā)絲千分之一的制造革命中，每一個(gè)工藝節(jié)點(diǎn)都依賴著比人類神經(jīng)更敏銳的感知系統(tǒng)——這正是明治傳感深耕多年的技術(shù)戰(zhàn)場。

本期小明就來和大家分享一下明治傳感在刻蝕設(shè)備以及硅片上下料中的只能傳感解決方案。

從實(shí)時(shí)監(jiān)測靜電卡盤氣壓的MQ系列壓力傳感器，到實(shí)現(xiàn)2μm鍍層厚度檢測的MLD33-L30N激光位移傳感器；從10米超遠(yuǎn)距離對射的光電傳感器陣列，到搭載AI算法的智能讀碼器系統(tǒng)，明治傳感正在重新定義半導(dǎo)體制造的精度邊界。

反應(yīng)腔室與晶圓臺(tái)溫度檢測

溫度傳感器 TTS-20300A

應(yīng)用場景：

刻蝕速率和材料特性對溫度敏感，因此需要溫度傳感器實(shí)時(shí)監(jiān)測腔體溫度，避免因過熱導(dǎo)致材料變形或刻蝕速率不穩(wěn)定

1.需要實(shí)時(shí)檢測且快速反應(yīng)，因?yàn)闇囟葘Σ牧嫌绊懞艽?/p>

2.傳感器不能直接接觸晶圓，需采用非接觸式測量

3.腐蝕環(huán)境，需要傳感器防護(hù)性能較高

解決方案：

1、選用明治TTS系列溫度傳感器，非接觸式紅外測溫

2、測量范圍大，該系列最高可測800℃，這里可選用測量范圍-20℃-300℃的，重復(fù)精度高，測量值±1%

3、模擬電流、電壓可供選擇；可實(shí)時(shí)輸出數(shù)據(jù)，防止數(shù)值判斷延遲

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靜電卡盤氣壓監(jiān)測

MQ-03DNH-485 數(shù)顯型氣壓表

應(yīng)用場景:

監(jiān)測卡盤與晶圓間的氦氣背壓，確保散熱和固定效果，需要實(shí)時(shí)檢測

解決方案:

1、選用明治數(shù)顯型氣壓表MQ系列，有高壓型、低壓型可供選擇，這里選擇高壓型，-101.3~101.3kPa的檢測范圍，開關(guān)響應(yīng)速度最快 1ms

2、最大耐壓力500千帕

3、選擇485通訊輸出，可實(shí)時(shí)檢測數(shù)據(jù)

4、數(shù)顯型，調(diào)試簡單快捷

5、自帶安裝鈑金，安裝便捷

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載體ID管理

智能讀碼器 RCD-AI100-S

應(yīng)用場景:

通過將 FOUP 料盒上粘貼的通用條碼標(biāo)簽在加載端上自動(dòng)讀取，可以簡單地實(shí)現(xiàn)點(diǎn)對點(diǎn)精確管理，并且可以降低成本，算法強(qiáng)大，可同時(shí)讀取多個(gè)條碼。

解決方案:

1、選用智能讀碼器RCD-AI100-S系列

2、液態(tài)變焦鏡頭，最大讀取速度60個(gè)/S；可以設(shè)置一個(gè)二維碼或者一維碼只讀取一次記錄防止多次讀取造成誤記錄影響品質(zhì)判定

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檢測上端晶片有無

光纖傳感器 PE1+PT-32-DQ

應(yīng)用場景：

檢測最上方晶片是否存在，以判斷是否滿料，在狹小的工位結(jié)構(gòu)中，需要選擇體積小巧的傳感器以便于安裝

解決方案：

1、選擇纖細(xì)的光纖以便于安裝，對射式原理使得檢測的穩(wěn)定性更佳

2、搭配PE1放大器，可進(jìn)行16us的超高速檢測

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化學(xué)品液位高度控制

液位傳感器 CE30-26NO

應(yīng)用場景：

當(dāng)槽管內(nèi)存在氣泡時(shí)，使用光學(xué)傳感器可能會(huì)造成誤判，

解決方案：

1、 可選用明治專用于管道液位檢測的電容式接近傳感器CE系列，即使管道內(nèi)產(chǎn)生氣泡亦可穩(wěn)定檢測

2、不受液體的顏色和密度影響，非接觸式的檢測方式也讓傳感器不必?fù)?dān)心化學(xué)品與傳感器發(fā)生反應(yīng)影響檢測效果

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目標(biāo)定位和距離測量

激光位移傳感器 MLD25-100N

應(yīng)用場景：

此工位上需要實(shí)時(shí)精確測量每一片晶片高度

解決方案：

明治的這款激光位移傳感器有著65-135mm的大量程檢測距離，滿足實(shí)時(shí)監(jiān)測晶片的任意位置

精度達(dá)到0.01mm，軟件功能輕松示教，提高了調(diào)試的便捷性。

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設(shè)備振動(dòng)監(jiān)測

振動(dòng)傳感器 MJA394B-40

應(yīng)用場景：

監(jiān)測設(shè)備機(jī)械振動(dòng)，避免因振動(dòng)導(dǎo)致刻蝕圖案偏移

解決方案：

1、選用明治振動(dòng)傳感器MJA系列，支持X、Y、Z軸多向測量，共振頻率高，分辨率/閾值<1mg(max)@ 1Hz

2、485通訊輸出，可實(shí)時(shí)檢測振動(dòng)情況

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安全門防護(hù)

安全門鎖 AR3系列

應(yīng)用場景：

檢測距離12mm，需要確保安全門關(guān)閉到位，常開型。當(dāng)安全門打開后，設(shè)備停機(jī)；當(dāng)安全門正常關(guān)閉后給PLC一個(gè)完成信號(hào)，設(shè)備正常運(yùn)作。

解決方案：

1、可選用安全門鎖AR3系列

2、內(nèi)置多觸點(diǎn)結(jié)構(gòu)可供選擇，多種金屬頭部可選

4、鎖定力為1300N，抗強(qiáng)拉能力優(yōu)越

5、IP67防護(hù)等級，防水防塵性能佳

6、標(biāo)準(zhǔn)鍍金接點(diǎn)，可用一般負(fù)或微小負(fù)載

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晶圓定位

非標(biāo)視覺

應(yīng)用場景：

需要判斷晶圓是否到位，是否正確裝載，防止機(jī)械臂碰撞

解決方案：

1.明治視覺方案團(tuán)隊(duì)可根據(jù)項(xiàng)目不同現(xiàn)場情況搭配不同的硬件設(shè)備來達(dá)到檢測效果

2、多類通訊輸出可選

3、具備更強(qiáng)大的AI算法，檢測精準(zhǔn)速度快

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硅片厚度測量

激光位移傳感器 MLD25-200NV

應(yīng)用場景：

檢測多層硅片的高度，實(shí)現(xiàn)機(jī)器人多重精準(zhǔn)取料

解決方案：

1、輸出方式多樣化，一個(gè)型號(hào)支持開關(guān)量、模擬量、RS485

2、重復(fù)精度高，30um

3、響應(yīng)時(shí)間快，最快1.5ms

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硅片單雙張檢測

超聲波傳感器 MUD-60N-18-GL

應(yīng)用場景：

硅片傳送過程中需要使用傳感器檢測物料是否多張，當(dāng)產(chǎn)品疊料或者空料時(shí)需要給出對應(yīng)的信號(hào)，機(jī)構(gòu)進(jìn)行疊料剔除或空料不進(jìn)行下一步動(dòng)作

解決方案：

1、可選用明治MUD系列超聲波傳感器檢測物料空料和單雙張，三種檢測模式可調(diào)，具有學(xué)習(xí)示教功能，可以快速調(diào)試適應(yīng)現(xiàn)場多種規(guī)格物料檢測

2、檢測距離最遠(yuǎn)可達(dá)60mm，即使物料的位置有一定差異以及抖動(dòng)也不會(huì)影響實(shí)際的檢測效果

3、傳感器支持跳線示教，只需簡單設(shè)置即可完成示教，方便快捷

4、采用高頻檢測算法，響應(yīng)時(shí)間最高可達(dá)6.5ms，可實(shí)現(xiàn)高頻檢測

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硅片到位識(shí)別

光電傳感器 PTE-TEM10NR

應(yīng)用場景：

硅片傳送過程中需要使用傳感器可靠地檢測檢測物料是否到位

解決方案：

選用對射型光電傳感器PTE-TEM10NR系列，檢測距離為10米，靈敏度可調(diào)節(jié)，安裝調(diào)試方便

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硅片鍍層厚度測量

激光位移傳感器 MLD33-L30N-422

應(yīng)用場景：

硅片傳送過程中需要使用傳感器檢測硅片鍍層厚度

解決方案：

1、可以選用正反射激光位移傳感器，可高精度測量高反光硅片物料的厚度

2、通過422通訊進(jìn)通訊設(shè)置讀取數(shù)據(jù)

3、重復(fù)精度1um，線性精度3um

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在飛速發(fā)展的自動(dòng)化行業(yè)，半導(dǎo)體制造的精度革命不再局限于設(shè)備本身，而在于如何讓“感知”成為創(chuàng)新的催化劑。與明治同行，您收獲的不僅是一套解決方案，更是一個(gè)持續(xù)進(jìn)化的智能生態(tài)——這里，每一個(gè)傳感器的跳動(dòng)，都在為行業(yè)的下一次躍遷積蓄能量。