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芯片微小,何已成為“國之重器”?

xPRC_icunion ? 來源:電子發(fā)燒友網(wǎng) ? 作者:工程師譚軍 ? 2018-07-07 11:04 ? 次閱讀
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2017 年,中國集成電路進(jìn)口金額 2600 億美元,連續(xù)四年遠(yuǎn)超石油進(jìn)口額。2018年4月,美國對(duì)中興公司的制裁事件,凸顯發(fā)展國產(chǎn)芯片的重要性與緊迫性。芯片雖小,已成為“國之重器”。

電子級(jí)多晶硅是集成電路產(chǎn)業(yè)上游核心原材料,我國政府雄心勃勃的發(fā)展規(guī)劃以及各大企業(yè)對(duì)大硅片項(xiàng)目的投資,將驅(qū)動(dòng)電子級(jí)硅材料向前發(fā)展。國家“強(qiáng)基工程”和集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(大基金)支持的中硅高科和江蘇鑫華正在開展電子級(jí)多晶硅研究及產(chǎn)業(yè)化,采用全新的技術(shù)、設(shè)計(jì)、建設(shè)理念和系統(tǒng)裝備,已有小批量投產(chǎn)并在用戶試用和認(rèn)證過程中,也有小批量供貨的消息。此外,國內(nèi)還有黃河水電、云冶芯材等企業(yè)也分別發(fā)布了電子級(jí)多晶硅量產(chǎn)的消息。伴隨這幾家多晶硅試產(chǎn)、試用和驗(yàn)證,中國電子級(jí)多晶硅將逐步實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)、穩(wěn)產(chǎn)及廣泛應(yīng)用。參照太陽能產(chǎn)業(yè)提質(zhì)量、降成本的發(fā)展基礎(chǔ)和經(jīng)驗(yàn),隨著電子級(jí)多晶硅質(zhì)量和成本控制經(jīng)驗(yàn)的積累,中國電子級(jí)多晶硅市場份額會(huì)逐步提升,隨后,市場競爭格局會(huì)發(fā)生根本改變,中國電子級(jí)多晶硅出口也將會(huì)水到渠成。

電子級(jí)多晶硅相比太陽能級(jí)多晶硅難點(diǎn)是建立高純理念,建設(shè)高純環(huán)境與生產(chǎn)系統(tǒng),建立可實(shí)施、可控的質(zhì)量保證體系。所謂建立高純理念是從技術(shù)方案開始,要求貫徹高純理念,按不同工序環(huán)節(jié),設(shè)定對(duì)應(yīng)的高純環(huán)境要求、設(shè)備材質(zhì)要求、施工安裝要求等,包括原料質(zhì)量控制,設(shè)備、管道、閥門裝備質(zhì)量控制,設(shè)備系統(tǒng)潔凈化安裝質(zhì)量控制,系統(tǒng)投產(chǎn)前的潔凈化處理及運(yùn)行準(zhǔn)備等等。

系統(tǒng)原料質(zhì)量控制,包括三氯氫硅、氫氣、硅烷、硅芯或晶種等關(guān)鍵原材料質(zhì)量,配套的純水、氮?dú)?、氬氣、各種高純化學(xué)試劑等。

重要操作過程控制,包括原料提純與輸送,多晶硅生產(chǎn),硅棒(顆粒硅)收獲、運(yùn)輸,硅棒破碎、腐蝕清洗、干燥包裝等。按生產(chǎn)環(huán)節(jié)要求,控制環(huán)境空氣潔凈度,強(qiáng)化機(jī)械化、自動(dòng)化操作,減少人為沾污。

按照多晶硅質(zhì)量控制要求,建立多晶硅質(zhì)量控制體系,包括進(jìn)入還原爐的原料純度與控制要求;還原過程精細(xì)化、標(biāo)準(zhǔn)化操作;根據(jù)產(chǎn)品質(zhì)量目標(biāo)要求,建立質(zhì)量控制體系和質(zhì)預(yù)警體系,控制過程物料與操作

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原文標(biāo)題:洛陽中硅總工嚴(yán)大洲:建立高純理念是生產(chǎn)電子級(jí)多晶硅關(guān)鍵

文章出處:【微信號(hào):icunion,微信公眾號(hào):半導(dǎo)體行業(yè)聯(lián)盟】歡迎添加關(guān)注!文章轉(zhuǎn)載請(qǐng)注明出處。

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