石英諧振壓力傳感器的技術(shù)原理與優(yōu)勢

石英諧振壓力傳感器是基于壓電效應(yīng)與諧振頻率變化原理工作的高精度測量器件。其核心感壓元件是石英基膜，當(dāng)外界壓力作用于基膜時，產(chǎn)生的應(yīng)變通過剛性連接傳遞至石英振梁，引起振梁諧振頻率的變化。通過外配激振電路，即可將壓力信號線性轉(zhuǎn)換為頻率信號輸出。

與傳統(tǒng)的應(yīng)變式、電容式傳感器相比，石英諧振壓力傳感器具有三大核心優(yōu)勢：

1.1超高精度與卓越穩(wěn)定性

石英晶體固有的高Q值（品質(zhì)因數(shù)）使其諧振頻率穩(wěn)定性優(yōu)于0.001%。晨穹電子的RPS01系列傳感器實現(xiàn)了0.01%FS的典型精度，分辨率高達(dá)0.001%FS，能夠捕捉極其微小的壓力波動。在長期穩(wěn)定性方面，年漂移率可控制在＜0.02%的水平，顯著優(yōu)于多數(shù)傳統(tǒng)傳感器。

1.2優(yōu)異的溫度適應(yīng)性

通過雙諧振梁差分設(shè)計和先進(jìn)的溫度補(bǔ)償技術(shù)，石英諧振傳感器能在寬溫域內(nèi)保持高精度測量。晨穹RPS01系列可在-55℃～+125℃的溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定工作，溫漂系數(shù)控制在±0.01%FS/℃以內(nèi)，無需額外溫控裝置即可在大多數(shù)工業(yè)環(huán)境下提供準(zhǔn)確測量。

1.3強(qiáng)大的抗惡劣環(huán)境能力

采用全金屬密封封裝與激光焊接工藝，石英諧振傳感器能有效隔絕濕氣與污染物，耐核輻照能力＞200Mrad。其抗振動設(shè)計支持20g RMS的振動場景，抗沖擊能力達(dá)200g，非常適合核反應(yīng)堆廠房、航空航天等高性能要求的應(yīng)用場景。

國內(nèi)石英壓力傳感器主要廠家及技術(shù)特色

2.1晨穹電子科技（河北）有限公司

作為國內(nèi)石英壓力傳感器領(lǐng)域的領(lǐng)軍企業(yè)，晨穹電子推出的RPS01系列石英絕壓壓力芯體代表了行業(yè)先進(jìn)水平。該產(chǎn)品采用QMEMS（石英微機(jī)電系統(tǒng)）工藝，實現(xiàn)了石英基膜與石英振梁的一體化加工。通過原子級薄膜沉積技術(shù)，實現(xiàn)了石英基膜與金屬封裝的原子融合，使抗振動性能提升了300%。

值得一提的是，晨穹RPS01系列集成了AI自校準(zhǔn)算法，可自動修正零點漂移，校準(zhǔn)后誤差降低至±0.05%FS。

2.2南京航空航天大學(xué)研究團(tuán)隊

在學(xué)術(shù)研究層面，南京航空航天大學(xué)的博士研究團(tuán)隊在石英諧振式壓力傳感器領(lǐng)域取得了顯著進(jìn)展。他們針對抗輻照高精度測量的需求，開展了深入的技術(shù)研究，主要創(chuàng)新點包括：

提出了多約束條件下高品質(zhì)因數(shù)高靈敏度諧振梁的設(shè)計方法；

開發(fā)了壓力-溫度雙諧振器集成全石英敏感結(jié)構(gòu)；

建立了基于石英微納加工技術(shù)的完整工藝流程；

該團(tuán)隊的研究成果在全溫區(qū)（-40℃～60℃）全量程（10kPa～110kPa）累計輻照劑量20kRad條件下，實現(xiàn)了壓力傳感器精度為0.03%F.S.的性能指標(biāo)。

技術(shù)發(fā)展前景

隨著工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)(IIoT)的發(fā)展，高精度、數(shù)字化、智能化的壓力傳感器將成為構(gòu)建智慧工廠感知層的基礎(chǔ)。石英諧振壓力傳感器有望與IIoT平臺深度融合，實現(xiàn)遠(yuǎn)程監(jiān)控、預(yù)測性維護(hù)和數(shù)據(jù)分析，進(jìn)一步提升生產(chǎn)線的智能化水平和運行效率。

國內(nèi)企業(yè)在石英壓力傳感器領(lǐng)域已實現(xiàn)從“跟跑”到“并跑”的跨越，未來隨著技術(shù)不斷成熟和應(yīng)用領(lǐng)域拓展，國產(chǎn)石英壓力傳感器將在高端裝備制造、核工業(yè)安全監(jiān)測、航空航天等關(guān)鍵領(lǐng)域發(fā)揮更加重要的作用。

審核編輯 黃宇