8月7日消息，湖北菲利華石英玻璃股份有限公司（以下簡(jiǎn)稱“菲利華”）研發(fā)出G8代光掩膜基板，打破國(guó)外企業(yè)的壟斷，為國(guó)內(nèi)航空航天、半導(dǎo)體、平板顯示、消費(fèi)電子、太陽能等行業(yè)的可持續(xù)發(fā)展夯實(shí)了基礎(chǔ)。

早在1979年，菲利華的前身沙市石英玻璃廠就根據(jù)當(dāng)時(shí)建材部軍工辦下達(dá)的任務(wù)，在全國(guó)首家試制成功了高純度石英纖維和硅油型石英纖維。

幾十年來，菲利華始終專注產(chǎn)品和技術(shù)的自主創(chuàng)新，爭(zhēng)取在行業(yè)中的領(lǐng)先地位。

“這一塊1.4*1.2米的合成石英玻璃板是我們公司自主研發(fā)、國(guó)內(nèi)唯一具備批產(chǎn)能力的G8代光掩膜基板，其主要應(yīng)用于平板顯示器的生產(chǎn)?！焙狈评A石英玻璃股份有限公司技術(shù)中心副主任歐陽葆華介紹，此前，我國(guó)沒有光掩膜基板的生產(chǎn)技術(shù)，市場(chǎng)被日韓壟斷，后來菲利華逐步掌握了最先進(jìn)的8代基板生產(chǎn)技術(shù)，國(guó)際市場(chǎng)8代基板價(jià)格也就隨之下降。

以打造新型高科技企業(yè)為目標(biāo)，菲利華形成了技術(shù)中心、制造部門和生產(chǎn)班組三級(jí)自主創(chuàng)新體系。依托國(guó)家計(jì)劃項(xiàng)目，吸引國(guó)內(nèi)石英界技術(shù)精英，培育企業(yè)技術(shù)人才，認(rèn)真實(shí)踐自主創(chuàng)新的思路。

“在剛接手一項(xiàng)國(guó)家重點(diǎn)型號(hào)武器纖維織物項(xiàng)目時(shí)，我也有擔(dān)憂和顧慮，因?yàn)檫@個(gè)項(xiàng)目已耗時(shí)兩年多，進(jìn)展卻并不順利?！狈评A纖維產(chǎn)品事業(yè)部研發(fā)工程師孫緋博士說，為了克服這一難題，她與工藝、操作人員面對(duì)面交流探討，開展技術(shù)培訓(xùn)指導(dǎo)，攻克了多項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)難題，最終僅用三個(gè)多月時(shí)間就完成了配套研制任務(wù)。

1999年以來，菲利華承擔(dān)了大量的軍品配套研制項(xiàng)目，并得到了國(guó)防科工委在條件建設(shè)上的大力支持。現(xiàn)大部分項(xiàng)目已通過驗(yàn)收，項(xiàng)目交付試用后獲得廣泛好評(píng)。石英纖維產(chǎn)品品種由最初的3個(gè)，增加到9個(gè)，在一些關(guān)鍵的性能指標(biāo)上，已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。

菲利華董事長(zhǎng)吳學(xué)民

什么是光掩膜？

在半導(dǎo)體制造的整個(gè)流程中，其中一部分就是從版圖到晶圓（wafer）制造中間的一個(gè)過程，即光掩膜或稱光罩(mask)制造。這一部分是流程銜接的關(guān)鍵部分，是流程中造價(jià)最高的一部分，也是限制最小線寬的瓶頸之一。光掩膜除了應(yīng)用于芯片制造外，還廣泛的應(yīng)用與像LCD，PCB等方面，是核心材料之一，一直以來都被國(guó)外企業(yè)所壟斷。

常見的光掩膜的種類有四種，鉻版(chrome)、干版，凸版、液體凸版。主要分兩個(gè)組成部分，基板和不透光材料?；逋ǔＪ歉呒兌?，低反射率，低熱膨脹系數(shù)的石英玻璃。鉻版的不透光層是通過濺射的方法鍍?cè)诓Ａ路胶窦s0.1um的鉻層。鉻的硬度比玻璃略小，雖不易受損但有可能被玻璃所傷害。應(yīng)用于芯片制造的光掩膜為高敏感度的鉻版。干版涂附的乳膠，硬度小且易吸附灰塵，不過干版還有包膜和超微顆粒干版，其中后者可以應(yīng)用于芯片制造。

在刻畫時(shí)，采用步進(jìn)機(jī)刻畫(stepper)，其中有電子束和激光之分，激光束直接在涂有鉻層的4-9" 玻璃板上刻畫，邊緣起點(diǎn)5mm，與電子束相比，其弧形更逼真，線寬與間距更小。光掩膜有掩膜原版(reticle mask，也有稱為中間掩膜，reticle作為單位譯為光柵)，用步進(jìn)機(jī)重復(fù)將比例縮小到master maks上，應(yīng)用到實(shí)際曝光中的為工作掩膜(working mask)，工作掩膜由master mask復(fù)制過來。

菲利華技術(shù)中心副主任 歐陽葆華

菲利華公司作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先、國(guó)際知名的石英玻璃材料及石英玻璃纖維供應(yīng)商的民營(yíng)企業(yè)投身國(guó)防科技工業(yè)建設(shè)，用軍工的要求完善制度，用軍工的標(biāo)準(zhǔn)落實(shí)內(nèi)控，用軍工的準(zhǔn)則嚴(yán)把質(zhì)量，把軍工要求融入到過程的每一個(gè)細(xì)節(jié)、每一組產(chǎn)品，保證能力得到極大提升，產(chǎn)品和服務(wù)質(zhì)量長(zhǎng)期穩(wěn)定。

軍工研發(fā)帶來的核心競(jìng)爭(zhēng)力，為企業(yè)占領(lǐng)了市場(chǎng)的制高點(diǎn)。除了在石英纖維這樣的軍工配套產(chǎn)品上獨(dú)步全國(guó)外，菲利華在民品市場(chǎng)上也領(lǐng)跑同行。菲利華產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域從傳統(tǒng)的化工、光源行業(yè)，拓展到太陽能、半導(dǎo)體、電子、通訊行業(yè)及航空、航天領(lǐng)域。