在2025年11月13日至15日于廣東佛山舉辦的真空與半導(dǎo)體行業(yè)展會(huì)上，真空鍍膜設(shè)備制造商振華真空推出的“大平面光學(xué)鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)”受到業(yè)內(nèi)廣泛關(guān)注。該方案基于自研的磁控光學(xué)沉積技術(shù)，有效改善了大面積玻璃鍍膜中普遍存在的均勻性不足與附著力差等工藝難點(diǎn)。

據(jù)了解，該產(chǎn)線(xiàn)已成功交付全球某知名汽車(chē)零部件制造商使用，并且歷經(jīng)超過(guò)三年的量產(chǎn)化驗(yàn)證與迭代優(yōu)化，在穩(wěn)定性和可靠性方面通過(guò)充分測(cè)試。

技術(shù)演進(jìn)：從單腔體到多腔室再到連續(xù)生產(chǎn)，大面積均勻鍍膜成行業(yè)分水嶺

光學(xué)鍍膜裝備的技術(shù)發(fā)展，從電子束蒸發(fā)、磁控濺射的技術(shù)原理革新，到腔體結(jié)構(gòu)由單腔向多腔集群，最終邁向全自動(dòng)連續(xù)式生產(chǎn)線(xiàn)的路徑。然而，實(shí)現(xiàn)大面積基板的連續(xù)、均勻鍍膜，一直是橫亙?cè)谛袠I(yè)面前的技術(shù)壁壘。

行業(yè)分析指出，實(shí)現(xiàn)大面積均勻鍍膜的主要挑戰(zhàn)在于：隨著鍍膜腔體與基板尺寸的擴(kuò)大，等離子體密度、溫度場(chǎng)及氣體流場(chǎng)的均勻性控制難度呈指數(shù)級(jí)上升，極易導(dǎo)致膜層厚度不均、附著力下降等問(wèn)題，直接影響產(chǎn)品良率與性能。這使得多數(shù)技術(shù)方案局限于實(shí)驗(yàn)室或小批量生產(chǎn)階段，難以滿(mǎn)足工業(yè)級(jí)大規(guī)模制造的需求。

技術(shù)突破：自研磁控光學(xué)沉積技術(shù)實(shí)現(xiàn)均勻性與附著力的協(xié)同控制

振華真空大平面光學(xué)鍍膜生產(chǎn)線(xiàn)

振華真空的解決方案核心在于其自主開(kāi)發(fā)的磁控光學(xué)沉積技術(shù)。據(jù)悉，該產(chǎn)線(xiàn)可可實(shí)現(xiàn)1600mm×630mm超大尺寸光學(xué)玻璃的穩(wěn)定量產(chǎn)，連續(xù)鍍膜節(jié)拍可達(dá)50秒，支持多達(dá)14層光學(xué)膜疊加，膜層厚度控制精度高、重復(fù)性良好，具備優(yōu)異的透過(guò)率、附著力和環(huán)境穩(wěn)定性。已廣泛應(yīng)用于智能后視鏡、車(chē)載中控面板、觸控屏玻璃蓋板等關(guān)鍵汽車(chē)部件，精準(zhǔn)助力智能座艙與新能源汽車(chē)對(duì)玻璃性能的進(jìn)階需求。

產(chǎn)業(yè)意義：為汽車(chē)玻璃功能化與輕量化提供裝備基礎(chǔ)

振華真空該生產(chǎn)線(xiàn)的成熟與量產(chǎn)，標(biāo)志著國(guó)產(chǎn)鍍膜裝備在技術(shù)能力與可靠性上已達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。其連續(xù)式生產(chǎn)線(xiàn)設(shè)計(jì)可將傳統(tǒng)間歇式工藝的生產(chǎn)效率提升200%以上，同時(shí)顯著降低單位能耗與材料損耗，為汽車(chē)零部件企業(yè)提供了兼具經(jīng)濟(jì)性與品質(zhì)保障的鍍膜選擇。

業(yè)界觀點(diǎn)認(rèn)為，該技術(shù)的推廣應(yīng)用將加速汽車(chē)玻璃向多功能、輕量化與高環(huán)境適應(yīng)性方向發(fā)展，并為國(guó)內(nèi)汽車(chē)產(chǎn)業(yè)鏈在關(guān)鍵工藝環(huán)節(jié)實(shí)現(xiàn)自主可控奠定高端裝備基礎(chǔ)。