相較于硅(Si),采用碳化硅(SiC)基材的組件性能優(yōu)勢(shì)十分的顯著,尤其是在高壓與高頻的性能上,然而,這些優(yōu)勢(shì)卻始終未能轉(zhuǎn)換成市場(chǎng)規(guī)模,主要的原因就出在碳化硅晶圓的制造和產(chǎn)能的不順暢。
6吋碳化硅晶圓
由于碳化硅需要在2000°C以上高溫(硅晶僅需在1500°C),以及350MPa以上才能達(dá)成。 若透過(guò)添加一些特殊的助燒劑,或者氣體沉積的方式,則可使碳化硅燒成溫度降到2000°C左右,且在常壓就能進(jìn)行。
依據(jù)目前的硅晶業(yè)者的生產(chǎn)情況,一般而言,生產(chǎn)8吋的硅晶棒,需要約2天半的時(shí)間來(lái)拉晶,6吋的硅晶棒則需要約一天。 接著,待晶棒冷卻之后,再進(jìn)行晶圓的切片和研磨。
至于碳化硅晶圓,光長(zhǎng)晶的時(shí)間,就約需要7至10天,而且生成的高度可能只有幾吋而已(硅晶棒可達(dá)1至2米以上),再加上后續(xù)的加工制程也因?yàn)橛捕鹊挠绊懚鄬?duì)困難,因此其產(chǎn)能十分有限,質(zhì)量也不穩(wěn)定。
「由于碳化硅的生產(chǎn)瓶頸尚未解決,原料晶柱的質(zhì)量不穩(wěn)定,造成整體市場(chǎng)無(wú)法大規(guī)模普及。 」瀚天天成電子科技銷售副總裁司馬良亮,一語(yǔ)點(diǎn)出目前的市場(chǎng)困境。
司馬良亮表示,相較于硅晶,碳化硅的功能性更好,在導(dǎo)熱、延展性和導(dǎo)電性方面都有很好的表現(xiàn),投入的業(yè)者也很多。 但幾年過(guò)去,市場(chǎng)規(guī)模依舊十分有限,并沒(méi)有出現(xiàn)大的進(jìn)展,主要的原因就在于原料晶柱的質(zhì)量不穩(wěn)定,造成沒(méi)有足夠的晶圓來(lái)供應(yīng)市場(chǎng)。
「只要長(zhǎng)晶過(guò)程中的溫度和壓力有一些失誤,那好幾天的心血可能就都會(huì)為烏有。 」司馬良亮說(shuō)。
目前全球僅約有三、四家業(yè)者(Cree、Norstel、新日鐵住金等)能提供穩(wěn)定的產(chǎn)量。 中國(guó)雖然已著手自產(chǎn),但在質(zhì)量方面尚未能趕上美日,因此全球的產(chǎn)能仍十分有限,目前市場(chǎng)也仍是處于短缺的狀況。
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硅晶圓
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