10月19日，來湘考察的中微半導體設備(上海)有限公司(以下簡稱“中微”)董事長兼首席執(zhí)行官尹志堯表示，此行將重點圍繞湖南集成電路設備和材料產(chǎn)業(yè)發(fā)展出謀劃策，探討交流合作的前景和機遇?！昂习l(fā)展集成電路設備和材料產(chǎn)業(yè)有良好的基礎，我們愿加強合作，助推湖南在這一領域?qū)崿F(xiàn)跨越發(fā)展。我注意到，當前國內(nèi)的芯片制造產(chǎn)業(yè)已經(jīng)出現(xiàn)了投資過度的勢頭。因此，湖南發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)，可以往半導體設備和材料的研制方向發(fā)展?！?/p>

十四年前毅然回國，造出“中國芯高端設備”

集成電路產(chǎn)業(yè)是數(shù)碼信息產(chǎn)業(yè)的基石，被列為《中國制造2025》重點聚焦發(fā)展的十大領域首位，對國民經(jīng)濟發(fā)展和國家信息安全起著至關重要的作用。其中，半導體高端設備又是集成電路芯片產(chǎn)業(yè)的基礎。然而，長期以來，集成電路設備和技術(shù)一直被國外大公司所壟斷。

1984年，獲得美國加州大學洛杉磯分校物理化學博士的尹志堯，前往美國硅谷工作，經(jīng)過20年的持續(xù)努力，成長為幾代等離子體刻蝕技術(shù)及設備的主要發(fā)明人和推動者，其領導和參與開發(fā)的刻蝕設備，幾乎占到了全世界的一半。

2004年，已年過六旬的尹志堯毅然帶領團隊從美國回到中國，在上海浦東創(chuàng)建了中微公司。十四年來，他帶領的團隊開發(fā)出的幾種刻蝕機和化學薄膜設備，在性能和性價比上都進入了國際前三強。

正是尹志堯所帶領的技術(shù)團隊突破核心技術(shù)壟斷，在中國土地上，第一次能夠生產(chǎn)出達到國際最先進水平的高端集成電路設備。

拿出研發(fā)“兩彈一星”的信心和決心

所謂芯片，就是內(nèi)含集成電路的硅片，制造一塊小小的芯片，涉及50多個學科、上千道工序。“芯片制造是人類歷史上最復雜的一項工藝，其難度堪比‘兩彈一星’?！?尹志堯打了個形象的比喻，人的頭發(fā)絲平均直徑是0.07毫米，7納米是人頭發(fā)絲的一萬分之一，要是用這么細小的筆尖，就可以在一粒大米上，寫出一億個中文字。

“在這樣的尺度上加工是非常困難的，其中關鍵就是靠光刻機和等離子體刻蝕機?！币緢蛘f，沒有微觀加工設備，就造不出芯片，而中微就是一家微觀加工高端設備公司。

如今，中微自主研發(fā)的等離子體、硅通孔等刻蝕設備，已在國際主要芯片制造和封測廠商的生產(chǎn)線上廣泛應用，其研發(fā)的生產(chǎn)設備已與世界最前沿技術(shù)比肩。隨著產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展，中微半導體也積極布局，加快發(fā)展步伐。

“我注意到，當前國內(nèi)的芯片制造產(chǎn)業(yè)已經(jīng)出現(xiàn)了投資過度的勢頭。因此，湖南發(fā)展集成電路產(chǎn)業(yè)，可以往半導體設備和材料的研制方向發(fā)展?！睘楹稀皬澋莱嚒敝д?，尹志堯建議在資金、人才和政策上加大扶持力度，拿出當年研發(fā)“兩彈一星”的信心和決心，為相關產(chǎn)業(yè)發(fā)展創(chuàng)造良好條件，同時他也表示，愿意深化與湖南相關方面的交流合作，攜手推動湖南集成電路高端設備自主研發(fā)。