動(dòng)態(tài)
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發(fā)布了文章 2025-04-24 14:57
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發(fā)布了文章 2025-04-22 11:34
瑞樂半導(dǎo)體——On Wafer WLS-WET 濕法無線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)是半導(dǎo)體先進(jìn)制程監(jiān)控領(lǐng)域的重要?jiǎng)?chuàng)新成果
On Wafer WLS-WET無線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)是半導(dǎo)體先進(jìn)制程監(jiān)控領(lǐng)域的重要?jiǎng)?chuàng)新成果。該系統(tǒng)通過自主研發(fā)的核心技術(shù),將溫度傳感器嵌入晶圓集成,實(shí)現(xiàn)了晶圓本體與傳感單元的無縫融合。傳感器采用IC傳感器,具備±0.1℃的測(cè)量精度和10ms級(jí)快速響應(yīng)特性,可實(shí)時(shí)捕捉濕法工藝中瞬態(tài)溫度場(chǎng)分布。719瀏覽量