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TC Wafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)當(dāng)前面臨的技術(shù)挑戰(zhàn)與應(yīng)對(duì)方案2025-07-10 21:31
盡管TC Wafer晶圓系統(tǒng)已成為半導(dǎo)體溫度監(jiān)測(cè)的重要工具，但在實(shí)際應(yīng)用中仍面臨多項(xiàng)技術(shù)挑戰(zhàn)。同時(shí)，隨著半導(dǎo)體工藝不斷向更小節(jié)點(diǎn)演進(jìn)，該系統(tǒng)也展現(xiàn)出明確的發(fā)展趨勢(shì)，以滿足日益嚴(yán)格的測(cè)溫需求。 -
瑞樂(lè)半導(dǎo)體——TC Wafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用場(chǎng)景2025-07-01 21:31
TCWafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)憑借其卓越的性能指標(biāo)和靈活的配置特性，已在半導(dǎo)體制造全流程中展現(xiàn)出不可替代的價(jià)值。其應(yīng)用覆蓋從前端制程到后端封裝測(cè)試的多個(gè)關(guān)鍵環(huán)節(jié)，成為工藝開(kāi)發(fā)和量產(chǎn)監(jiān)控的重要工具。熱處理工藝優(yōu)化與驗(yàn)證在快速熱處理（RTP/RTA）工藝中，溫度均勻性直接影響摻雜分布和硅化物形成質(zhì)量。TCWafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)通過(guò)多點(diǎn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，能精確量化升溫/降溫階 -
TC Wafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)——半導(dǎo)體制造溫度監(jiān)控的核心技術(shù)2025-06-27 10:03
TCWafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)是一種革命性的溫度監(jiān)測(cè)解決方案，專(zhuān)為半導(dǎo)體制造工藝中晶圓溫度的精確測(cè)量而設(shè)計(jì)。該系統(tǒng)通過(guò)將微型熱電偶傳感器（Thermocouple）直接鑲嵌于晶圓表面，實(shí)現(xiàn)了對(duì)晶圓溫度的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。從物理結(jié)構(gòu)看，TCWafer由作為基底的晶圓片（硅、藍(lán)寶石或碳化硅材質(zhì)）和分布式溫度傳感器網(wǎng)絡(luò)組成，通過(guò)特殊加工工藝將耐高溫傳感器以焊接方式固定在晶圓特 -
瑞樂(lè)半導(dǎo)體——On Wafer WLS-EH無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)半導(dǎo)體制造工藝溫度監(jiān)控的革新方案2025-05-12 22:26
在半導(dǎo)體制造中，工藝溫度的精確控制直接關(guān)系到晶圓加工的良率與器件性能。傳統(tǒng)的測(cè)溫技術(shù)（如有線測(cè)溫）易受環(huán)境干擾，難以在等離子刻蝕環(huán)境中實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。OnWaferWLS無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)通過(guò)自主研發(fā)的傳感器集成技術(shù)，將微型溫度傳感器直接嵌入晶圓載體（wafer），實(shí)現(xiàn)了對(duì)制程溫度的原位、實(shí)時(shí)、全流程監(jiān)控。該系統(tǒng)的核心突破在于DUALSHIELD技術(shù)，解決了在干 -
瑞樂(lè)半導(dǎo)體——TC Wafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)持久防脫專(zhuān)利解決測(cè)溫點(diǎn)脫落的難題2025-05-12 22:23
TCWafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)是一種專(zhuān)為半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計(jì)的溫度測(cè)量設(shè)備，通過(guò)利用自主研發(fā)的核心技術(shù)將高精度耐高溫的熱電偶傳感器嵌入晶圓表面，實(shí)現(xiàn)對(duì)晶圓特定位置及整體溫度分布的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)，記錄晶圓在制程過(guò)程中的溫度變化數(shù)據(jù)，為半導(dǎo)體制造過(guò)程提供一種高效可靠的方式來(lái)監(jiān)測(cè)和優(yōu)化關(guān)鍵的工藝參數(shù)?！竞诵募夹g(shù)】防脫落專(zhuān)利技術(shù)：TCWafer晶圓測(cè)溫系統(tǒng)在高溫、真空或強(qiáng)振動(dòng)環(huán) -
瑞樂(lè)半導(dǎo)體——On Wafer WLS-WET 濕法無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)是半導(dǎo)體先進(jìn)制程監(jiān)控領(lǐng)域的重要?jiǎng)?chuàng)新成果2025-04-22 11:34
On Wafer WLS-WET無(wú)線晶圓測(cè)溫系統(tǒng)是半導(dǎo)體先進(jìn)制程監(jiān)控領(lǐng)域的重要?jiǎng)?chuàng)新成果。該系統(tǒng)通過(guò)自主研發(fā)的核心技術(shù)，將溫度傳感器嵌入晶圓集成，實(shí)現(xiàn)了晶圓本體與傳感單元的無(wú)縫融合。傳感器采用IC傳感器，具備±0.1℃的測(cè)量精度和10ms級(jí)快速響應(yīng)特性，可實(shí)時(shí)捕捉濕法工藝中瞬態(tài)溫度場(chǎng)分布。
