動態(tài)
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發(fā)布了文章 2026-04-02 11:38
瑞樂半導體新品速遞——掩膜版/光掩膜 /光罩RTD RTD-MASK測溫系統(tǒng)
掩膜版/光掩膜/光罩RTD測溫系統(tǒng)利用自主研發(fā)的核心技術(shù)將RTD傳感器集成到光罩掩膜版表面，實時監(jiān)控和記錄掩膜版在工藝制程過程中的精細溫度變化數(shù)據(jù)，為半導體制造過程提供一種高效可靠的方式來監(jiān)測和優(yōu)化關(guān)鍵的工藝參數(shù)。掩膜版/光掩膜/光罩RTDRTD-MASK測溫系統(tǒng)產(chǎn)品優(yōu)勢：1.±0.05℃高精度測溫監(jiān)測：RTD傳感器能夠提供高精度的溫度讀數(shù)，確保半導體制造過252瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2026-03-28 23:20
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發(fā)布了文章 2025-07-18 14:56
瑞樂半導體——TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)的技術(shù)創(chuàng)新與未來趨勢熱電偶測溫
隨著半導體制造精度不斷提升，溫度作為核心工藝參數(shù)，其監(jiān)測需求將更加嚴苛。TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)將持續(xù)演進，從被動測量工具轉(zhuǎn)變?yōu)橹鲃庸に嚳刂频年P(guān)鍵環(huán)節(jié)，推動半導體制造邁向“感知-分析-控制”的智能新時代。1.4k瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-07-10 21:31
TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)當前面臨的技術(shù)挑戰(zhàn)與應對方案
盡管TC Wafer晶圓系統(tǒng)已成為半導體溫度監(jiān)測的重要工具，但在實際應用中仍面臨多項技術(shù)挑戰(zhàn)。同時，隨著半導體工藝不斷向更小節(jié)點演進，該系統(tǒng)也展現(xiàn)出明確的發(fā)展趨勢，以滿足日益嚴格的測溫需求。1.3k瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-07-01 21:31
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發(fā)布了產(chǎn)品 2025-06-27 10:37
On Wafer WLS無線晶圓測溫系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：OnW-12 Wafer 尺寸：8”、12” 晶圓材質(zhì)：硅片 測溫點數(shù)：53 點 /65點/ 81 點 / 可定制測溫點166瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2025-06-27 10:16
TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：TCW-4 TCW-6 TCW-8 TCW-12 Wafer 尺寸：2”、3”、4”、6”、8”、12 晶圓材質(zhì)：1-34支持定制 線長：L1- 腔體內(nèi)部；L2- 倉門過渡段；L3- 腔體外部139瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2025-06-27 10:12
RTD Wafer晶圓測溫系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：RTD-12 RTD-8 Wafer 尺寸：2”、3”、4”、6”、8”、12” 晶圓材質(zhì)：硅片 / 藍寶石等 測溫元件：RTD114瀏覽量 -
發(fā)布了產(chǎn)品 2025-06-27 10:08
RTD Wafer 無線晶圓測溫系統(tǒng)
產(chǎn)品型號：RTD-12 RTD-8 Wafer 尺寸：8”、12” 晶圓材質(zhì)：硅片 / 藍寶石等 測溫元件：RTD125瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-06-27 10:03
TC Wafer晶圓測溫系統(tǒng)——半導體制造溫度監(jiān)控的核心技術(shù)
TCWafer晶圓測溫系統(tǒng)是一種革命性的溫度監(jiān)測解決方案，專為半導體制造工藝中晶圓溫度的精確測量而設計。該系統(tǒng)通過將微型熱電偶傳感器（Thermocouple）直接鑲嵌于晶圓表面，實現(xiàn)了對晶圓溫度的實時監(jiān)測。從物理結(jié)構(gòu)看，TCWafer由作為基底的晶圓片（硅、藍寶石或碳化硅材質(zhì)）和分布式溫度傳感器網(wǎng)絡組成，通過特殊加工工藝將耐高溫傳感器以焊接方式固定在晶圓特1.9k瀏覽量
