動(dòng)態(tài)
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發(fā)布了文章 2025-08-01 18:02
臺(tái)階儀在半導(dǎo)體制造中的應(yīng)用 | 精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)溝槽刻蝕工藝的臺(tái)階高度
在半導(dǎo)體制造中，溝槽刻蝕工藝的臺(tái)階高度直接影響器件性能。臺(tái)階儀作為接觸式表面形貌測(cè)量核心設(shè)備，通過(guò)精準(zhǔn)監(jiān)測(cè)溝槽刻蝕形成的臺(tái)階參數(shù)（如臺(tái)階高度、表面粗糙度），為工藝優(yōu)化提供數(shù)據(jù)支撐。Flexfilm費(fèi)曼儀器致力于為全球工業(yè)智造提供提供精準(zhǔn)測(cè)量解決方案，F(xiàn)lexfilm探針式臺(tái)階儀可以在半導(dǎo)體溝槽刻蝕工藝的高精度監(jiān)測(cè)研究通過(guò)校準(zhǔn)規(guī)范、誤差分析與標(biāo)準(zhǔn)樣板定值，實(shí)現(xiàn)1.2k瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-07-30 18:03
橢偏儀在半導(dǎo)體薄膜工藝中的應(yīng)用：膜厚與折射率的測(cè)量原理和校準(zhǔn)方法
半導(dǎo)體測(cè)量設(shè)備主要用于監(jiān)測(cè)晶圓上膜厚、線寬、臺(tái)階高度、電阻率等工藝參數(shù)，實(shí)現(xiàn)器件各項(xiàng)參數(shù)的準(zhǔn)確控制，進(jìn)而保障器件的整體性能。橢偏儀主要用于薄膜工藝監(jiān)測(cè)，基本原理為利用偏振光在薄膜上、下表面的反射，通過(guò)菲涅爾公式得到薄膜參數(shù)與偏振態(tài)的關(guān)系，計(jì)算薄膜的折射率和厚度。Flexfilm費(fèi)曼儀器作為薄膜測(cè)量技術(shù)革新者，致力于為全球工業(yè)智造提供精準(zhǔn)測(cè)量解決方案，公司自主1.5k瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2025-07-28 18:04
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發(fā)布了文章 2025-07-25 18:02
全光譜橢偏儀在二維材料中的應(yīng)用 | 解析PtSe?光學(xué)常數(shù)厚度依賴關(guān)系
過(guò)渡金屬硫化物（TMDs）的厚度可調(diào)能帶結(jié)構(gòu)使其在光電子領(lǐng)域備受關(guān)注。PtSe?作為新型層狀材料，具有從半導(dǎo)體到半金屬的相變特性，帶隙可調(diào)控。然而，其精確光學(xué)常數(shù)數(shù)據(jù)長(zhǎng)期缺失，制約器件優(yōu)化。橢圓偏振儀憑借亞納米級(jí)精度、無(wú)損測(cè)量及同步獲取膜厚與光學(xué)參數(shù)的優(yōu)勢(shì)，成為解決該問(wèn)題的關(guān)鍵手段。Flexfilm費(fèi)曼儀器作為國(guó)內(nèi)領(lǐng)先測(cè)量供應(yīng)商所提供的Flexfilm全光譜 -
發(fā)布了文章 2025-07-23 18:02
汽車玻璃透光率檢測(cè) | 制備高透光(Ag,Cu)/TiO?汽車玻璃隔熱膜
汽車玻璃需在保證透光的同時(shí)高效隔熱，以應(yīng)對(duì)太陽(yáng)輻射引發(fā)的升溫、老化及能耗問(wèn)題。其關(guān)鍵在于選擇性阻隔紅外和紫外光?，F(xiàn)有隔熱膜研究對(duì)可見(jiàn)光平均透過(guò)率與隔熱性能的系統(tǒng)研究不足。Flexfilm費(fèi)曼儀器在汽車工業(yè)領(lǐng)域從研發(fā)、生產(chǎn)到質(zhì)檢的全流程中均有嚴(yán)格監(jiān)控。本研究采用磁控濺射技術(shù)制備(Ag,Cu)/TiO?汽車玻璃隔熱膜，并利用Flexfilm汽車玻璃透過(guò)率檢測(cè)儀對(duì) -
發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54
半導(dǎo)體薄膜厚度測(cè)量丨基于光學(xué)反射率的厚度測(cè)量技術(shù)
在半導(dǎo)體制造中，薄膜的沉積和生長(zhǎng)是關(guān)鍵步驟。薄膜的厚度需要精確控制，因?yàn)楹穸绕顣?huì)導(dǎo)致不同的電氣特性。傳統(tǒng)的厚度測(cè)量依賴于模擬預(yù)測(cè)或后處理設(shè)備，無(wú)法實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)沉積過(guò)程中的厚度變化，可能導(dǎo)致工藝偏差和良率下降。為此，研究團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)了一種基于激光反射率的光學(xué)傳感器，能夠在真空環(huán)境下實(shí)時(shí)測(cè)量氧化膜（SiO?）、氮化膜（Si?N?）和多晶硅（p-Si）的厚度。FlexF -
發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54
半導(dǎo)體膜厚測(cè)量丨光譜反射法基于直接相位提取的膜厚測(cè)量技術(shù)
在現(xiàn)代半導(dǎo)體和顯示面板制造中，薄膜厚度的精確測(cè)量是確保產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。傳統(tǒng)方法如掃描電子顯微鏡（SEM）雖可靠，但無(wú)法用于在線檢測(cè)；橢圓偏振儀和光譜反射法（SR）雖能無(wú)損測(cè)量，卻受限于計(jì)算效率與精度的矛盾。近期，研究人員提出了一種創(chuàng)新方法——直接相位提取技術(shù)，成功打破了這一技術(shù)瓶頸。FlexFilm單點(diǎn)膜厚儀結(jié)合相位提取技術(shù)通過(guò)將復(fù)雜的非線性方程轉(zhuǎn)化為線 -
發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54
DLC薄膜厚度可精準(zhǔn)調(diào)控其結(jié)構(gòu)顏色，耐久性和環(huán)保性協(xié)同提升
類金剛石碳（DLC）薄膜因高硬度、耐磨損特性，廣泛應(yīng)用于刀具、模具等工業(yè)領(lǐng)域，其傳統(tǒng)顏色為黑色或灰色。近期，日本研究團(tuán)隊(duì)通過(guò)等離子體化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)，將DLC薄膜厚度控制在20-80納米范圍內(nèi)，首次實(shí)現(xiàn)對(duì)其結(jié)構(gòu)色的精確調(diào)控。這一發(fā)現(xiàn)為材料的光學(xué)功能化提供了新方向。等離子體CVD裝置示意圖1結(jié)構(gòu)色產(chǎn)生的物理機(jī)制flexfilm結(jié)構(gòu)色由光的干涉效應(yīng)主導(dǎo) -
發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54
橢偏儀測(cè)量薄膜厚度的原理與應(yīng)用
在半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜及新能源材料等領(lǐng)域，精確測(cè)量薄膜厚度和光學(xué)常數(shù)是材料表征的關(guān)鍵步驟。Flexfilm光譜橢偏儀（SpectroscopicEllipsometry,SE）作為一種非接觸、非破壞性的光學(xué)測(cè)量技術(shù)，通過(guò)分析光與材料相互作用后偏振態(tài)的變化，能夠同時(shí)獲取薄膜的厚度、折射率、消光系數(shù)等參數(shù)。本文將從原理、測(cè)量流程及實(shí)際應(yīng)用三個(gè)方面，解析橢偏儀如何實(shí)現(xiàn) -
發(fā)布了文章 2025-07-22 09:54
