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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>傳感與控制>碳納米管在微機電系統(tǒng)中的應用研究

      碳納米管在微機電系統(tǒng)中的應用研究

      2009-11-16 | rar | 223 | 次下載 | 5積分

      資料介紹

      碳納米管研究的不斷發(fā)展為其與微機電系統(tǒng)(MEMS) 的結合提供了可能,這種
      結合“Top - down”與“Bottom2up”的方法是微米/ 納米技術的一個發(fā)展趨勢。
      碳納米管的特性及其在MEMS 上的潛在應用,綜述了碳納米管的制備方法以及與
      MEMS 技術的兼容性,列舉了目前一些碳納米管與MEMS 結合研究的典型,并對其
      發(fā)展趨勢進行了分析。
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