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一種微型步進(jìn)電機(jī)的微膠接裝配方法的研究:采用微膠接技術(shù)裝配微型步進(jìn)電機(jī)的基體和導(dǎo)軌。對膠粘劑的點(diǎn)膠特性進(jìn)行實(shí)驗(yàn),指出微電機(jī)膠接裝配中影響膠接質(zhì)量的兩個關(guān)鍵因素是膠滴體積的不穩(wěn)定和膠滴的擴(kuò)散。為了解決該問題,在基體膠接區(qū)表面通過蝕刻方法加工出凹槽結(jié)構(gòu),給出凹槽尺寸的確定原則和膠接實(shí)驗(yàn)的條件。結(jié)果表明,凹槽結(jié)構(gòu)對膠滴體積具有“容錯性”,可以在一定程度上克服膠滴體積的不穩(wěn)定和膠滴的擴(kuò)散對微膠接裝配質(zhì)量的影響,但膠滴點(diǎn)膠的位置誤差可能引起膠滴溢出凹槽。
關(guān)鍵詞:微電機(jī);微裝配;微膠接;表面結(jié)構(gòu)
關(guān)鍵詞:微電機(jī);微裝配;微膠接;表面結(jié)構(gòu)
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