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摘 要:研究并設計了一種用于油庫安全監(jiān)測的氣體傳感器。傳感器中氣體敏感元件是利用直流磁控濺射法制備的Al摻雜ZnO薄膜。此薄膜對汽油等有機蒸汽有較高的敏感性和較短的響應(恢復)時間.當油氣濃度較大時(大于1%),輸出信號的變化仍較大.本傳感器采用MAX197芯片,可以同時采集多個氣敏元件的模擬信號并進行12位高精度A/D轉換,利用無線收發(fā)模塊F05C、J04E進行數(shù)據(jù)的無線傳輸.傳感器擁有ACM12864液晶顯示模塊,方便數(shù)據(jù)顯示.
關鍵詞:ZnO薄膜;高精度A/D轉換;無線數(shù)據(jù)收發(fā);液晶顯示
氣體傳感器
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