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      MEMS慣性傳感器的簡介及其在控制系統(tǒng)中的應(yīng)用

      2017-11-29 | rar | 0.3 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      　　MEMS慣性傳感器作為工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)用新興的應(yīng)用元件，不論在商業(yè)、工業(yè)還是軍工應(yīng)用上都有著廣闊的應(yīng)用。文中給出了幾種MEMS的在不同領(lǐng)域內(nèi)的應(yīng)用范例，并解析了相應(yīng)的原理，并從一款較常用的MEMS入手提出了對(duì)相應(yīng)領(lǐng)域內(nèi)的解決思路。

      　　MEMS是微機(jī)電系統(tǒng)（Mic ro-Electro-Mechanical SVstems）的英文縮寫。它是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加T技術(shù)和超精密機(jī)械加T技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的，日前MEMS加T技術(shù)在傳感器制作領(lǐng)域有很多應(yīng)用．MEMS慣性傳感器是一個(gè)不錯(cuò)的產(chǎn)品。從最初MEMS線性加速度傳感器徹底革新了汽車安全氣囊系統(tǒng)開始，從筆記本電腦硬盤保護(hù)到航天控制器中更為直觀的運(yùn)動(dòng)捕捉，各種獨(dú)特的功能和應(yīng)用得以實(shí)現(xiàn)。

      　　來自MEMS慣性傳感器的信息經(jīng)過處理和積分后，可以提供許多不同類型的位置、方向和運(yùn)動(dòng)的輸出（見圖1）。每種類型的運(yùn)動(dòng)都涉及到一系列應(yīng)用相關(guān)的復(fù)雜兇素，對(duì)此必須加以了解。

      MEMS慣性傳感器的簡介及其在控制系統(tǒng)中的應(yīng)用

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