資料介紹
高溫壓力傳感器是應(yīng)用在高溫環(huán)境下對(duì)壓力介質(zhì)進(jìn)行有效測(cè)量的傳感器,如應(yīng)用于石油勘探的高溫壓力測(cè)量;各種汽車、飛機(jī)發(fā)動(dòng)機(jī)腔體內(nèi)的高溫壓力測(cè)量等。目前,高溫壓力傳感器的種類繁多,包括SOI單晶硅、SIC、濺射薄膜壓力傳感器等,差動(dòng)變壓器式高溫壓力傳感器,因其靈敏度高,長(zhǎng)壽命,在高溫壓力領(lǐng)域占有一席之地。
差動(dòng)變壓器式壓力傳感器屬于結(jié)構(gòu)型傳感器,主要由波紋膜片、鐵芯、線圈及銜鐵四個(gè)主要部分組成,工作時(shí),被測(cè)壓力作用在敏感元件即波紋膜片上,波紋膜片產(chǎn)生變形,推動(dòng)銜鐵,使其與鐵芯之間的氣隙發(fā)生改變,引起線圈回路的磁阻變化,即能把被測(cè)壓力變化轉(zhuǎn)換為傳感器的互感電壓變化。常用的彈性敏感元件包括平膜片、波紋膜片、波紋管等形式。在相同的壓力下,波紋膜片相對(duì)于平膜片可產(chǎn)生更大的線性位移,相對(duì)于波紋管體積小,應(yīng)用靈活。
波紋膜片設(shè)計(jì)是否科學(xué),直接影響傳感器的性能。在工程設(shè)計(jì)時(shí),常常遇到線性度和靈敏度之間的相互矛盾,而且波紋膜片諸多參數(shù)相互制約關(guān)系異常復(fù)雜,必須進(jìn)行綜合考慮。傳統(tǒng)設(shè)計(jì)方法是靠經(jīng)驗(yàn),需經(jīng)過(guò)多次制作樣品及實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證,花費(fèi)大量的人力、物力,設(shè)計(jì)定型周期長(zhǎng)。采用先進(jìn)的有限元設(shè)計(jì)分析方法,可以考虐波紋膜片的綜合影響因素,整體分析波紋膜片的應(yīng)力應(yīng)變及位移特性,快速優(yōu)化膜片的結(jié)構(gòu)參數(shù),能在最短的時(shí)間內(nèi)實(shí)現(xiàn)最優(yōu)的設(shè)計(jì)。
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