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掃描探針顯微鏡(Scanning Probe Microscope, SPM)經(jīng)過二十多年的發(fā)展,已進入成熟期；應用最新的計算機軟硬件技術實現(xiàn)SPM控制的優(yōu)化及性價比的提高是該領域目前的研究熱點之一。本文主要介紹DSP和CPLD在SPM控制系統(tǒng)的應用，并詳細論述了具體的設計方案及軟硬件的實現(xiàn)。通過采用將先進的DSP與小規(guī)模的CPLD相結合的方案，研制了一套新穎的SPM控制系統(tǒng)。測試表明該系統(tǒng)具有性能穩(wěn)定、功能可擴展等顯著特點。
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