資料介紹
TFT-LCD超薄玻璃減薄工藝流程及不良做一些大體的介紹
FT-LCD超薄玻璃減薄工藝流程及不良簡介
1減薄的作用2減薄工藝簡介3常見的減薄不良2減薄的作用1.減少占有的空間2.使Glass達(dá)到一定的柔性3減薄工藝簡介封膠減薄研磨防止酸堿溶液從邊緣處進(jìn)入液晶盒內(nèi)用酸堿對Glass進(jìn)獲得光亮、平整,破壞封框膠,進(jìn)行刻蝕,從而達(dá)到的表面。
入Cell內(nèi)部,影響減薄的目的。
產(chǎn)品性能。
4封膠UV膠封膠工藝防止強酸破壞Cell封框膠以及進(jìn)入Cell內(nèi)部1.加蓋遮光墊2.涂膠3.擦膠4.UV固化一般在這之前涂膠后靜置清除多的UVUV固化后檢查還會進(jìn)行檢查。
1min。
膠。
破壞TFT結(jié)構(gòu)5封膠UV燈GLS邊框膠加蓋遮光墊涂膠UV固化涂膠后檢查6減薄原理及方式6HFSiO2-H2SiF62H2O液體固體(玻璃)-液體21多片直立理浸原泡原理及方式灑噴瀑4立布直流片單37三種方式優(yōu)缺點瀑布流單片直立噴灑優(yōu)點:
1.表面最光滑,甚多片直立浸泡優(yōu)點:
至可以不用拋光1.可以滿足兩面不優(yōu)點:1.可以同時間處理同蝕刻要求。多片缺點:多片玻璃。
1.蝕刻表面易產(chǎn)生缺點:1.裝置大型。
凹點。2.外圍產(chǎn)生沉淀物白色粉沫,容易粘附在Glass上。
8減薄流程清洗Textinhere蝕刻Slimming清洗9減薄設(shè)備Loader預(yù)清洗單Unloader蝕刻單元清洗單元干燥單元單元元單元其余組件:
供酸裝置HF酸濃度計溫度控制器洗氣裝置10減薄工藝參數(shù)1.反應(yīng)時間與玻璃質(zhì)量損失的關(guān)系圖1.反應(yīng)時間與玻璃質(zhì)量損失之間的關(guān)系11減薄工藝參數(shù)2.反應(yīng)速率與反應(yīng)溫度的關(guān)系圖2.玻璃在HF酸中反應(yīng)速率與反應(yīng)溫度之間的關(guān)系12減薄工藝參數(shù)3.反應(yīng)速率與HF酸濃度的關(guān)系圖3.玻璃在HF酸中反應(yīng)速率與HF酸濃度之說明:
HF2是HF酸溶液中的最主間的關(guān)系要活性成分,因為以氫鍵形式存在的H-F鍵比HF分子中的H-F鍵更脆弱,與SiO2反應(yīng)時更容易斷裂。
13減薄清洗單元(后)
a.DI水b.常溫C.5minDI浸泡a.5-10NaOHb.45℃鼓泡C.10min堿浸泡a.3HClb.或常溫酸浸泡C.1mina.DI水b.常溫DI浸泡C.5min清洗14研磨Reject外觀檢查Polishing清洗外觀檢查Item自動研磨手動研磨Picture適應(yīng)產(chǎn)品無破損產(chǎn)品所有產(chǎn)品可修復(fù)不良不良率高發(fā),嚴(yán)重不良不良率較低的輕微不良CAPAQ-panel拋光,效率高針對單點不良修復(fù),效率低15減薄工藝自身不良1.不可擦拭臟污2.薄化不勻16減薄工藝自身不良玻璃被蝕刻時局部蝕刻不一玻璃本身致玻璃表面玻璃本身含有雜質(zhì)。
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