設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了一種基于C8051F410為核心的高穩(wěn)定性和高性價(jià)比氣體流量?jī)x。利用C8051F410單片機(jī)片內(nèi)的A/D和D/A轉(zhuǎn)換器來采集和輸出信號(hào)，從而達(dá)到控制質(zhì)量流量控制器的目的。該流量?jī)x具有電路設(shè)計(jì)簡(jiǎn)單、可靠性好、性價(jià)比高、檢測(cè)精度高等優(yōu)點(diǎn)。

　　工業(yè)生產(chǎn)過程中對(duì)流體流量進(jìn)行正確測(cè)量和調(diào)節(jié)是保證生產(chǎn)過程安全經(jīng)濟(jì)運(yùn)行、提高經(jīng)濟(jì)效益、實(shí)現(xiàn)科學(xué)管理的基礎(chǔ)。質(zhì)量流量控制器就是用來對(duì)各種氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量與控制的一種儀器，被廣泛應(yīng)用于電子工藝設(shè)備、分析測(cè)量?jī)x器、制氣配氣等行業(yè)。本文采用C8051F410單片機(jī)為檢測(cè)核心，充分利用該單片機(jī)豐富的內(nèi)部硬件資源，設(shè)計(jì)了一款可以控制兩路氣體質(zhì)量流量控制器的自動(dòng)氣體流量檢測(cè)儀。

　　D07-19B型質(zhì)量流量控制器具有精度高、重復(fù)性好、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定可靠、工作壓力范圍快等特點(diǎn)，其操作使用方便，便于與單片機(jī)連接實(shí)現(xiàn)自動(dòng)控制?？刂破鬏敵龅牧髁繖z查電壓與流過通道的質(zhì)量流量成正比，滿量程流量檢測(cè)輸出電壓為+5V。該控制器的流量控制范圍是（2～100）%F.S.，流量分辨率是0.1%F.S.。

　　C8051F410是Silicon Laboratories公司推出的一款8051系列單片機(jī)［1］。C8051F410單片機(jī)是完全集成的低功耗混合信號(hào)片上系統(tǒng)型芯片，可以與8051兼容的微控制器內(nèi)核，片內(nèi)具有4個(gè)通用的16為定時(shí)器，2個(gè)12位電流輸出D/A轉(zhuǎn)換，真12位200kps的24通道A/D轉(zhuǎn)換，高精度可編程24.5MHz內(nèi)部振蕩器和達(dá)到32KB的片內(nèi)FLASH存儲(chǔ)器等特點(diǎn)。在許多AD/DA轉(zhuǎn)換精度或時(shí)鐘精度要求不是特別高的設(shè)計(jì)中，不必再使用外部AD/DA轉(zhuǎn)換芯片或諧振電路，只靠片內(nèi)資源就可以完成相應(yīng)的功能，極大地減少了很多外圍電路設(shè)計(jì)，提高了系統(tǒng)的集成度和抗干擾能力。

　　本系統(tǒng)主要包括硬件和軟件兩個(gè)部分。硬件部分由電源電路、鍵盤電路、液晶顯示和流量控制器控制電路構(gòu)成；軟件部分由液晶顯示、A/D反饋信號(hào)的采集和D/A輸出組成［2］。系統(tǒng)框圖如圖1所示。