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      平面光波導(dǎo)器件的分類與平面光波導(dǎo)技術(shù)的介紹及其發(fā)展趨勢(shì)分析

      2017-09-30 | rar | 0.3 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      　　平面光波導(dǎo)技術(shù)

      　　平面光波導(dǎo)技術(shù)是在集成電路技術(shù)的基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的，有其獨(dú)特的地方。集成電路的基本元件是電阻、電容、電感和晶體管（二極管、三極管），集成電路技術(shù)是在硅襯底上通過(guò)薄膜沉積、擴(kuò)散、外延、光刻、刻蝕、退火等工藝制作這些基本的元件，并且用導(dǎo)線互聯(lián)。平面光波導(dǎo)的基本元件是激光器、光波導(dǎo)和探測(cè)器，所用襯底材料各異、如 InP、GaAs、SiO2、 LiNbO3 等，材料各異工藝也不盡相同。集成電路技術(shù)對(duì)所成薄膜的厚度、折射率和殘余應(yīng)力要求不甚嚴(yán)格，但對(duì)于平面光波導(dǎo)技術(shù)而言，厚度、折射率和殘余應(yīng)力則要求精細(xì)控制，否則不能實(shí)現(xiàn)光波信號(hào)的產(chǎn)生、控制、傳輸與探測(cè)。

      　　平面光波導(dǎo)器件的分類與平面光波導(dǎo)技術(shù)的介紹及其發(fā)展趨勢(shì)分析

      　　平面光波導(dǎo)器件

      　　平面光波導(dǎo)器件是采用平面光波導(dǎo)技術(shù)制造而成的器件，分為無(wú)源器件、有源器件以及有源/無(wú)源混合集成器件。
      平面光波導(dǎo)器件的分類與平面光波導(dǎo)技術(shù)的介紹及其發(fā)展趨勢(shì)分析

      平面光波導(dǎo)技術(shù)
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