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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>工控技術(shù)>基于VC＋＋6.0的電子束曝光控制系統(tǒng)

      基于VC＋＋6.0的電子束曝光控制系統(tǒng)

      2010-07-14 | rar | 201 | 次下載 | 3積分

      資料介紹

      隨著納米科技的迅速發(fā)展，下一代光刻技術(shù)在微細(xì)加工領(lǐng)域發(fā)揮著日益重要的作用。作為復(fù)雜半導(dǎo)體加工主要手段之一的電子束曝光系統(tǒng)，需要穩(wěn)定完善的控制軟件來保證其正常運(yùn)行。本文介紹了電子束曝光控制系統(tǒng)的設(shè)計(jì)原理，并著重介紹了其對(duì)電子束曝光的全過程進(jìn)行控制的強(qiáng)大功能。
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