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針對壓電陶瓷驅動存在的上述問題，本文通過分析電壓型驅動器原理及電路參數(shù)，提出了一種基于反饋零點補償和噪聲增益補償技術的混合型補償方法。利用該技術對壓電陶瓷驅動放大模塊進行補償后，有效地提高了驅動模塊的頻帶帶寬及動態(tài)性能。
針對壓電陶瓷驅動電源在動態(tài)應用中需要利用各種動態(tài)波形作為輸入信號的要求，設計了一種基于FPGA的直接數(shù)字頻率合成(DDS)波形發(fā)生系統(tǒng)。為便于驅動電源的集成化，本文結合所設計的驅動器及AVR單片機建立了完整的壓電陶瓷微定位控制系統(tǒng)。
最后，結合壓電陶瓷微動工作臺，建立了納米級定位實驗系統(tǒng)。通過理論研究和實驗驗證可知，本文的研究工作對提高壓電陶瓷微驅動系統(tǒng)的性能，進一步擴展壓電陶瓷在動態(tài)性能要求較高的微驅動領域中的研究具有重要的理論意義和實際應用價值。
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