利 用快速熱處理 （RapidThermalProcessing，RTP）技術(shù) ，成功 制備 了單晶硅太 陽 電池 。在三個(gè)重要的熱處理環(huán)節(jié) （磷擴(kuò)散制作 P—N結(jié) 、熱氧化 、電極燒結(jié) ）采用 了快 速熱 處理法 ，電極制作 采用 了絲 網(wǎng)印刷。初步研究 ，用大 面積 的單 晶硅 片制 備出轉(zhuǎn)換 效率為 11％ 、開路 電壓為 564．6mV、短路 電流 密度為 30．7mA／cm~的 太 陽 電 池 。

　RTP系統(tǒng)結(jié)構(gòu)及原理概述

　　RTP系統(tǒng)利 用 鹵鎢燈 管 對(duì)樣品 進(jìn) 行 加熱 ，常 規(guī)熱處理 爐是 用 電 阻絲 進(jìn) 行 加 熱 。 鹵鎢 燈 發(fā) 出的 光 屬 于可見 光 波段 ，電阻絲 發(fā) 出 的光 則 主 要 是 紅 外 波段 的 。常 規(guī)擴(kuò) 散 中 ，擴(kuò)散 基 于熱 力 學(xué) 作 用 而 進(jìn) 行 ，主 要 靠濃度梯 度 的 作 用 。而 在 RTP擴(kuò) 散 中 ，因 為 可 見 光波 段的光 的作 用 ，除 了熱 力 學(xué) 作 用 外 ，高 能 光 子 效 應(yīng) 0_也 起著 非 常重要 的 作用 。也 有研究 者 認(rèn) 為 ，RTP有 氧化 增強(qiáng) 效 應(yīng)… ，瞬態(tài) 增強(qiáng) 效 應(yīng) 。。 和 場(chǎng) 助 效應(yīng) n副等 。一 般來 說 ，在相 同條 件 下 ，RTP的 擴(kuò) 散 系 數(shù) 是 常 規(guī) 擴(kuò)散 的 5倍 以 上 。另 外 ，因 為 RTP系 統(tǒng) 用 鹵鎢 燈 加熱 ，爐 腔 升溫 速率 可達(dá) 150℃／s，20秒 內(nèi)可 以從室 溫升到 目標(biāo) 溫 度 ；循 環(huán)水 冷 壁和 風(fēng)扇 系統(tǒng) 使 降溫速 率也 很快 ，可 達(dá) 到 80℃／s。 整 個(gè)熱 處 理 過 程 只需 數(shù) 分 鐘 ，可大 大 提高 生 產(chǎn)效率 ，節(jié) 省能耗 和熱 預(yù) 算 。