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針對(duì)介電泳拋光對(duì)電源電壓、頻率、波形有特殊要求這一問(wèn)題，對(duì)電源的信號(hào)發(fā)生電路，信號(hào)放大電路，直流升壓電路，光耦及逆變電路等方面進(jìn)行了研究和歸納，研制了一套適用于介電泳拋光的專用高壓可調(diào)電源。通過(guò)直流升壓電路為IGBT（ Insulated Gate Bipolar Transistor）逆變電路提供了電壓，單片機(jī)通過(guò)IGBT光耦驅(qū)動(dòng)來(lái)控制ICBT模塊的開(kāi)關(guān)狀態(tài)，最終將逆變電路巾負(fù)載電阻兩端的電壓并聯(lián)到拋光機(jī)上、下盤(pán)的電極。利用介電泳拋光加T與傳統(tǒng)拋光加T的對(duì)比實(shí)驗(yàn)對(duì)高壓可調(diào)電源進(jìn)行測(cè)試。研究結(jié)果表明，電源各項(xiàng)指標(biāo)均達(dá)到設(shè)計(jì)要求，且使用該電源的介電泳拋光材料去除率提升了15.5%，驗(yàn)證了這種高壓可調(diào)電源原理的可行性及工程應(yīng)用價(jià)值。
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