LCOS和MILC技術(shù)分析??
內(nèi)容摘要:本文介紹LOGS和MILG技術(shù)的近來發(fā)展及應(yīng)用。LGOS技術(shù)是矽基CMOS集戚電路技術(shù)和LGD技術(shù)相結(jié)合的反射式顯示技術(shù)，它具有高密度、高解析度顯示特點(diǎn)，應(yīng)用於投影顯示和頭盔顯示。MILG技術(shù)是金屬誘導(dǎo)橫向晶體生長技術(shù)，此技術(shù)成功地應(yīng)用到低溫p－Si TFT，并成為激退火低溫p一Si TFT技術(shù)的有力競爭者。它具有設(shè)備投入低、工藝筒便可靠、重復(fù)性好、均勻性好等特點(diǎn)。MlLG將成為低溫p一Si TFT的核心技術(shù)，受到TFT產(chǎn)業(yè)界的重視。
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直視式大螢?zāi)浑娨暫惋@示器尚未大量投放市場，使投影顯示發(fā)展活躍起來，其中LCOS(LiquidCrystalonSilicon)反射式投影顯示剛剛迸人市場，引起人們的重視。因?yàn)長COS技術(shù)借矽基CMOS積體電路技術(shù)，在單晶矽片上CMOS陣列取代a一Si TFT LCD中玻璃基板上a一Si TFT陣列，相比之下前者生產(chǎn)技術(shù)更成熟，還有單晶矽遷移率遠(yuǎn)高於a一Si遷移率，因此不僅適合於高密度、高解析度、高開口率顯示，而且可以周邊驅(qū)動電路集成一體，甚至可以集成資訊處埋系統(tǒng)。但LCOS微型顯示通過光學(xué)系統(tǒng)放大圖像幾十到幾百倍，帶來液晶顯示技術(shù)的新問題。本文介LCOS的應(yīng)用和市場、LCOS基本結(jié)構(gòu)、光學(xué)系統(tǒng)及液晶顯示中的新問題。

本文還要介紹MILC(Metal Induced Lateral Crystallization:金屬誘導(dǎo)橫向晶體生長)技術(shù)。此技術(shù)正在形成產(chǎn)業(yè)化的低溫多晶矽技術(shù)，成為準(zhǔn)分子鐳射退火技術(shù)約有力競爭者，受到低溫p一Si TFT LCD企業(yè)家的高度重視。
LCOS
圖1表示LCOS應(yīng)用范圍和市場。LCOS應(yīng)用於頭盔顯示、拼接式顯示、前投影和背投影顯示。近期前投影和拼接式顯示占主導(dǎo)，遠(yuǎn)期背投影占主導(dǎo)，今後LCOS主要應(yīng)用於數(shù)位化HDTV。2000年產(chǎn)值為5億美元，到2004年產(chǎn)值將達(dá)到23億美元，年增長率為46.5％。
圖2表示LCOS結(jié)構(gòu)。在單晶矽片上集成CMOS和存貯電容器的陣列，通過開孔把漏電極和圖元電極連結(jié)，圖元電極用鋁做成反射電極。為防止強(qiáng)光照射溝道，加一層金屬檔光層。另一側(cè)基板是ITO電極的玻璃板。液晶層盒厚愛圖元尺寸限制，一般盒厚取幾微米。LC0S前投影放大倍數(shù)大，顯示區(qū)內(nèi)不能用控制盒厚的隔墊物，或者盒厚取小於2微米，可用隔墊物。
圖3表示軸上光學(xué)投影系統(tǒng)。用金屬鹵化物燈(亮度6000流明以上)或氖燈(亮度60000流明)，用拋物面反射鏡過濾紫外光和紅外光，再用冷反射鏡過濾紅外光，通過聚焦透鏡和復(fù)眼透鏡得到均勻的平行光，然後分色鏡分光，再通過PBS得到偏振光，通過LCOS反射進(jìn)行合成并通過變焦透鏡投影到螢?zāi)弧Ｔ谳S上投影系統(tǒng)緊湊性好，但很難得到高對比度。