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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>IC資料>單片機IC>IC制造工藝

      IC制造工藝

      2010-06-21 | rar | 692 | 次下載 | 10積分

      資料介紹

      刻蝕
      ?光刻就是在光刻膠上形成圖形
      ?下一步就是將光刻膠上的圖形通過刻蝕轉移到光刻膠下面的層上
      ?刻蝕工藝分為濕法和干法
      ??刻蝕的品質
      ?刻蝕的速率，即單位時間刻蝕的厚度
      ?刻蝕速率的均勻性
      ?選擇比，即對不同材料刻蝕速率的比率
      ?鉆刻，即對光刻膠下材料的側向刻蝕
      制造工藝
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