資料介紹
共質(zhì)心版圖是單步減小大范圍應(yīng)力誘發(fā)失配最有效的技術(shù)。下圖中的ABAB結(jié)構(gòu)兩個器件的質(zhì)心沒有完全對準(zhǔn),應(yīng)避免使用。ABBA結(jié)構(gòu)雖然需要加Dummy器件,但其可以很好的減小應(yīng)力誘發(fā)失配的影響。
當(dāng)很多多晶電阻并排擺放時,在陣列邊緣的電阻條會受到刻蝕速率變化的影響,電阻朝外的側(cè)壁會很快刻蝕玩,朝內(nèi)的邊刻蝕速率很慢,中間的電阻沒有向外的邊緣,因此最終寬度會比其他電阻稍大。Dummy resistor添加到匹配電阻陣列的兩端,以保證刻蝕的一致性。Dummy resistor的寬度可以比它們所保護(hù)的電阻小很多,但是dummy resistor和鄰近電阻的間距必須與陣列中電阻的間距匹配。把dummy resistor接地可以消除所有靜電調(diào)制的可能性。
更改原理圖后一定記得check and save
完成每個cell后要歸原點
器件的個數(shù)是否和原理圖一至(有并聯(lián)的管子時注意);各器件的尺寸是否和原理圖一致。一般在拿到原理圖之后,會對布局有大概的規(guī)劃,先畫器件,(器件之間不必用最小間距,根據(jù)經(jīng)驗考慮連線空間留出空隙)再連線。對每個器件的各端從什么方向,什么位置與其他物體連線必須先有考慮
如果一個cell調(diào)用其它cell,被調(diào)用的cell的vssx,vddx,vssb,vddb如果沒有和外層cell 連起來,盡量在布局低層cell時就連起來
盡量用最上層金屬接出PIN
接出去的線拉到cell邊緣,布局時記得留出走線空間
金屬連線不宜過長;也不能太寬。太長或是太寬的時候由于金屬應(yīng)力的存在,工藝做的時候會發(fā)生形變,容易起翹
電容一般最后畫,在空檔處拼湊,電容上下級板的電壓注意要均勻分布;電容的長寬不宜相差過大,可以多個電容并聯(lián)
小尺寸的mos管孔可以少打一點
管子的溝道上盡量不要走線
多晶硅柵不能兩端都打孔連接金屬,柵上的孔最好打在柵的中間位置,一般打孔最少打兩個,Contact面積允許的情況下,能打越多越好,尤其是input/output部分,因為電流較大。但如果contact阻值遠(yuǎn)大于diffusion則不適用。傳導(dǎo)線越寬越好,因為可以減少電阻值,但也增加了電容值。
連線接頭處要重疊,畫的時候?qū)⒃搮^(qū)域放大可避免此錯誤。
擺放各個小CELL時注意不要擠得太近,沒有留出走線空間。最后線只能從器件上跨過去。
Text,PA等層只是用來做檢查或標(biāo)志用,不用于光刻制造。
芯片內(nèi)部的電源線/地線和ESD上的電源線/地線分開接;數(shù)模信號的電源線/地線分開。
PAD與芯片內(nèi)部cell的連線要從ESD電路上接過去。
Esd電路的SOURCE放兩邊,DRAIN放中間。
NWELL有一定的隔離效果,但對于高頻的RF電路,采用深N阱效果較好。
上拉P管的D/G均接VDD,S接PAD,下拉N管的G/S接VSS,D接PAD,P/N管起二極管的作用。
關(guān)于匹配電路,放大電路不需要和下面的電流源匹配。但是對于差分電路,放大管要相互匹配,電流源也要相互匹配。使需要匹配的管子所處的光刻環(huán)境一樣。
匹配分為橫向,縱向,和中心匹配。
尺寸非常小的匹配管子對匹配畫法要求不嚴(yán)格,4個以上的匹配管子,局部和整體都匹配的匹配方式最佳。
在匹配電路的mos管左右畫上dummy,用poly,poly的尺寸與管子尺寸一樣,dummy與相鄰的第一個poly gate的間距等于poly gate之間的間距。
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