該課程是根據(jù)半導體器件設計、制造、工藝這一流程而設計的實驗課程，L-edit是針對版圖設計而編制的應用軟件，學生通過課程的學習，對半導體器件的設計、制造、工藝等方面有一個全面的了解，實驗課程分為三大部分。

　?。?） 集成電路工藝流程

　?。?） 測量

　?。?） 用L-edit軟件進行集成電路的設計

　　在此，主要討論第三部分：用L-edit軟件進行集成電路的設計中的重點、難點和心得體會。

　　L-Edit是一個圖形編輯器，它允許生成和修改集成電路掩模版上的幾何圖形。鼠標接口允許用戶執(zhí)行一般圖形操作。既可使用鼠標訪問下拉菜單也可以使用鍵盤來調(diào)用L-Edit命令。

　　結(jié)合雙極型集成電路為例，來說明集成電路中元件的形成過程以及版圖設計的一般過程。雙極型集成電路的基本制造工藝，可初略的分為兩類：一類為在元器件間要作電隔離區(qū)，另一類為元器件間自然隔離，具體講有如下的步驟：

　?、賱澐指綦x區(qū)

　?、诨驹O計條件的確定，包括采用的工藝，基本的工藝設計參數(shù)和版圖設計規(guī)則。

　　③各單元的圖形設計，集成電路中各元器件的圖形和尺寸，取決于它在集成電路中的作用以及對參數(shù)的要求，所有尺寸的設計要符合版圖設計規(guī)則的要求。所以在進行各單元的圖形、尺寸設計前，首先要對電路進行分析。

　?、懿季?，即把元器件按照電路的要求以及連線的要求，安排在合適的位置上。

　　⑤布線，即按照電路的連接關系以及連線的要求，把元器件連接成電路的符合版圖。

　　在教學過程中發(fā)現(xiàn)學生在學習L-edit軟件的過程中存在幾個突出的概念性誤區(qū)，下面我分三個方面來談：