該課程是根據(jù)半導(dǎo)體器件設(shè)計(jì)、制造、工藝這一流程而設(shè)計(jì)的實(shí)驗(yàn)課程，L-edit是針對(duì)版圖設(shè)計(jì)而編制的應(yīng)用軟件，學(xué)生通過課程的學(xué)習(xí)，對(duì)半導(dǎo)體器件的設(shè)計(jì)、制造、工藝等方面有一個(gè)全面的了解，實(shí)驗(yàn)課程分為三大部分。

　?。?） 集成電路工藝流程

　?。?） 測(cè)量

　?。?） 用L-edit軟件進(jìn)行集成電路的設(shè)計(jì)

　　在此，主要討論第三部分：用L-edit軟件進(jìn)行集成電路的設(shè)計(jì)中的重點(diǎn)、難點(diǎn)和心得體會(huì)。

　　L-Edit是一個(gè)圖形編輯器，它允許生成和修改集成電路掩模版上的幾何圖形。鼠標(biāo)接口允許用戶執(zhí)行一般圖形操作。既可使用鼠標(biāo)訪問下拉菜單也可以使用鍵盤來調(diào)用L-Edit命令。

　　結(jié)合雙極型集成電路為例，來說明集成電路中元件的形成過程以及版圖設(shè)計(jì)的一般過程。雙極型集成電路的基本制造工藝，可初略的分為兩類：一類為在元器件間要作電隔離區(qū)，另一類為元器件間自然隔離，具體講有如下的步驟：

　?、賱澐指綦x區(qū)

　?、诨驹O(shè)計(jì)條件的確定，包括采用的工藝，基本的工藝設(shè)計(jì)參數(shù)和版圖設(shè)計(jì)規(guī)則。

　?、鄹鲉卧膱D形設(shè)計(jì)，集成電路中各元器件的圖形和尺寸，取決于它在集成電路中的作用以及對(duì)參數(shù)的要求，所有尺寸的設(shè)計(jì)要符合版圖設(shè)計(jì)規(guī)則的要求。所以在進(jìn)行各單元的圖形、尺寸設(shè)計(jì)前，首先要對(duì)電路進(jìn)行分析。

　　④布局，即把元器件按照電路的要求以及連線的要求，安排在合適的位置上。

　　⑤布線，即按照電路的連接關(guān)系以及連線的要求，把元器件連接成電路的符合版圖。

　　在教學(xué)過程中發(fā)現(xiàn)學(xué)生在學(xué)習(xí)L-edit軟件的過程中存在幾個(gè)突出的概念性誤區(qū)，下面我分三個(gè)方面來談：