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可用的應變片具有大范圍的零應變電阻。傳感器材料和技術所占范圍很廣,但有幾個值(如 120Ω 和 350Ω)已通過廣泛使用而變得突出。過去,標準值通過允許輕松連接到包含匹配輸入電阻網(wǎng)絡的基本磁偏轉計來簡化應變測量。可用的應變片具有大范圍的零應變電阻。傳感器材料和技術所占范圍很廣,但有幾個值(如 120Ω 和 350Ω)已通過廣泛使用而變得突出。過去,標準值通過允許輕松連接到包含匹配輸入電阻網(wǎng)絡的基本磁偏轉計來簡化應變測量。箔規(guī)的類型和組成箔規(guī)的類型和組成箔片制造采用有限數(shù)量的合金,選擇這些合金是為了最大限度地減少應變片溫度系數(shù)與應變材料之間的差異。鋼、不銹鋼和鋁構成了大部分傳感器材料。鈹銅、鑄鐵和鈦也被使用,但“大多數(shù)”合金推動了溫度兼容應變片的大批量、低成本制造。350Ω 康銅箔應變片可能是最常見的。箔片制造采用有限數(shù)量的合金,選擇這些合金是為了最大限度地減少應變片溫度系數(shù)與應變材料之間的差異。鋼、不銹鋼和鋁構成了大部分傳感器材料。鈹銅、鑄鐵和鈦也被使用,但“大多數(shù)”合金推動了溫度兼容應變片的大批量、低成本制造。350Ω 康銅箔應變片可能是最常見的。厚膜和薄膜儀表的可靠性和易于制造對汽車應用很有吸引力,通常在表面沉積有絕緣材料的陶瓷或金屬基板上生產(chǎn)。測量材料通過氣相沉積工藝沉積在絕緣層的頂部。傳感規(guī)和互連線通過激光汽化或光掩模和化學蝕刻技術雕刻到金屬中。有時會添加一個保護絕緣層來保護儀表和互連。厚膜和薄膜儀表的可靠性和易于制造對汽車應用很有吸引力,通常在表面沉積有絕緣材料的陶瓷或金屬基板上生產(chǎn)。測量材料通過氣相沉積工藝沉積在絕緣層的頂部。傳感規(guī)和互連線通過激光汽化或光掩模和化學蝕刻技術雕刻到金屬中。有時會添加一個保護絕緣層來保護儀表和互連。儀表材料通常包括專有的金屬混合物,選擇用于產(chǎn)生所需的儀表電阻、電阻隨應力的變化,以及(為了溫度穩(wěn)定性)傳感器和基底金屬之間的最佳溫度系數(shù)匹配。為該技術開發(fā)了 3kΩ 至 30kΩ 的標稱壓力計和電橋電阻,該技術已用于制造壓力和力傳感器。儀表材料通常包括專有的金屬混合物,選擇用于產(chǎn)生所需的儀表電阻、電阻隨應力的變化,以及(為了溫度穩(wěn)定性)傳感器和基底金屬之間的最佳溫度系數(shù)匹配。為該技術開發(fā)了 3kΩ 至 30kΩ 的標稱壓力計和電橋電阻,該技術已用于制造壓力和力傳感器。電橋激勵技術電橋激勵技術惠斯通電橋通常用于基于箔、薄膜或厚膜的應變計傳感器。惠斯通電橋將應變計的應變感應電阻變化轉換為差分電壓(惠斯通電橋通常用于基于箔、薄膜或厚膜的應變計傳感器。惠斯通電橋將應變計的應變感應電阻變化轉換為差分電壓(圖 1圖 1)。)。在+Exc 和-Exc 端子上施加激勵電壓后,在+V OUT在+Exc 和-Exc 端子上施加激勵電壓后,在+V OUT
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