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使用信號調理 IC 驅動應變計橋式傳感器

1857383 2022-11-18 | pdf | 145.24KB | 次下載 | 免費

資料介紹

可用的應變片具有大范圍的零應變電阻。傳感器材料和技術所占范圍很廣，但有幾個值（如 120Ω 和 350Ω）已通過廣泛使用而變得突出。過去，標準值通過允許輕松連接到包含匹配輸入電阻網絡的基本磁偏轉計來簡化應變測量。可用的應變片具有大范圍的零應變電阻。傳感器材料和技術所占范圍很廣，但有幾個值（如 120Ω 和 350Ω）已通過廣泛使用而變得突出。過去，標準值通過允許輕松連接到包含匹配輸入電阻網絡的基本磁偏轉計來簡化應變測量。箔規(guī)的類型和組成箔規(guī)的類型和組成箔片制造采用有限數(shù)量的合金，選擇這些合金是為了最大限度地減少應變片溫度系數(shù)與應變材料之間的差異。鋼、不銹鋼和鋁構成了大部分傳感器材料。鈹銅、鑄鐵和鈦也被使用，但“大多數(shù)”合金推動了溫度兼容應變片的大批量、低成本制造。350Ω 康銅箔應變片可能是最常見的。箔片制造采用有限數(shù)量的合金，選擇這些合金是為了最大限度地減少應變片溫度系數(shù)與應變材料之間的差異。鋼、不銹鋼和鋁構成了大部分傳感器材料。鈹銅、鑄鐵和鈦也被使用，但“大多數(shù)”合金推動了溫度兼容應變片的大批量、低成本制造。350Ω 康銅箔應變片可能是最常見的。厚膜和薄膜儀表的可靠性和易于制造對汽車應用很有吸引力，通常在表面沉積有絕緣材料的陶瓷或金屬基板上生產。測量材料通過氣相沉積工藝沉積在絕緣層的頂部。傳感規(guī)和互連線通過激光汽化或光掩模和化學蝕刻技術雕刻到金屬中。有時會添加一個保護絕緣層來保護儀表和互連。厚膜和薄膜儀表的可靠性和易于制造對汽車應用很有吸引力，通常在表面沉積有絕緣材料的陶瓷或金屬基板上生產。測量材料通過氣相沉積工藝沉積在絕緣層的頂部。傳感規(guī)和互連線通過激光汽化或光掩模和化學蝕刻技術雕刻到金屬中。有時會添加一個保護絕緣層來保護儀表和互連。儀表材料通常包括專有的金屬混合物，選擇用于產生所需的儀表電阻、電阻隨應力的變化，以及（為了溫度穩(wěn)定性）傳感器和基底金屬之間的最佳溫度系數(shù)匹配。為該技術開發(fā)了 3kΩ 至 30kΩ 的標稱壓力計和電橋電阻，該技術已用于制造壓力和力傳感器。儀表材料通常包括專有的金屬混合物，選擇用于產生所需的儀表電阻、電阻隨應力的變化，以及（為了溫度穩(wěn)定性）傳感器和基底金屬之間的最佳溫度系數(shù)匹配。為該技術開發(fā)了 3kΩ 至 30kΩ 的標稱壓力計和電橋電阻，該技術已用于制造壓力和力傳感器。電橋激勵技術電橋激勵技術惠斯通電橋通常用于基于箔、薄膜或厚膜的應變計傳感器。惠斯通電橋將應變計的應變感應電阻變化轉換為差分電壓（惠斯通電橋通常用于基于箔、薄膜或厚膜的應變計傳感器。惠斯通電橋將應變計的應變感應電阻變化轉換為差分電壓（圖 1圖 1）。）。在+Exc 和-Exc 端子上施加激勵電壓后，在+V OUT在+Exc 和-Exc 端子上施加激勵電壓后，在+V OUT